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2008 年度 実績報告書

非二次元シリコン基板のレーザ結晶化とそのデバイス応用

研究課題

研究課題/領域番号 20246006
研究機関奈良先端科学技術大学院大学

研究代表者

浦岡 行治  奈良先端科学技術大学院大学, 准教授 (20314536)

研究分担者 木村 睦  龍谷大学, 理工学部, 教授 (60368032)
キーワード薄膜トランジスタ / レーザ結晶化 / 多結晶シリコン / ディスプレイ / 非二次元基板 / ファイバー / 積層シリコン薄膜 / グリーンレーザ
研究概要

本研究では、従来のa-Si薄膜のレーザー結晶化と全く異なる取り組みとして、基板を一次元、および三次元に展開した。すなわち、「非二次元Si基板」として一次元ファイバーSi基板および三次元積層Si基板を用いることを提案した。従来の二次元平面基板と異なるこれらの基板の形状および構造がレーザー結晶化時の光照射および熱伝導に与える効果を利用し、poly-Siの大粒径化につながる新しい結晶化機構の解明を行った。同時に、これらの基板の形状および構造を活用した新たなプロセス技術、デバイス構造の可能性を検討した。
本研究では、非二次元Si基板上のレーザー結晶化poly-Si薄膜をTFTに応用するために、まずXeClエキシマレーザー(λ=308nm)により結晶化したpoly-Si基板を用いて低温poly-Si TFT作製のプロセス開発を行った。さらに、一次元ファイバーSi基板を用いたレーザー結晶化とそのTFT作製を行った。角柱石英ファイバーを用い、それを溝基板に埋め込むなどの工夫によりファイバープロセスの確立を行った。ファイバー上a-Si薄膜のレーザー結晶化を行ったところ、平面基板を用いたものと比較して結晶性の向上を確認し、レーザー結晶化におけるファイバー基板の優位性を実証した。このpoly-Siを用いてファイバー上にTFTを作製し、ファイバー上で初のスイッチング動作を確認した。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (5件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Floating nanodot gate memory fabrication with biomineralized nanodot as charge storage node2008

    • 著者名/発表者名
      A. Miura
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics Vol. 103

      ページ: 074503-1-10

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermal analysis of degradation in Ga_2O_3-In_2O_3-ZnO thin film transistors2008

    • 著者名/発表者名
      M. Fujii
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol. 47

      ページ: 6236-6240

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Pol-Si films by continuous local thermal chemical vapor deposition on flexible quartz glass substrate2008

    • 著者名/発表者名
      T. Nakamura
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 93

      ページ: 241503-1-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Non-volatile flash memory with discrete bionanodt floating gate assembled by protein template2008

    • 著者名/発表者名
      A. Miura
    • 雑誌名

      Nanotechnology 19

      ページ: 255201-1-5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface Potential Evaluations of Ferri tin Nanodots by Kelvin Force Microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yamamoto
    • 雑誌名

      Journal of Scann Pobe Microscope 3

      ページ: 1-6

    • 査読あり
  • [学会発表] Pulsed Green Laser Anneling Crystallization of Double-Layered Silicon Thin Films2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Sugawara, H. Yano, T, Hatayama, Y. Uraoka, T. Fuyuki
    • 学会等名
      The 5^<th> International TFT Conference
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2009-05-03
  • [学会発表] Green Laser Anneling Crystallization for Three-Dimensional device Application2009

    • 著者名/発表者名
      T. Yamashita, Y. Sugawara, Y. Uraoka, T. Fuyuki, M. Kimura
    • 学会等名
      The 5^<th> International TFT Conference
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2009-03-05
  • [学会発表] Conductive-AFM Measurements of Poly-Si Thin Film Formed by ELA2009

    • 著者名/発表者名
      E. Machida, Y. Uraoka, T. Fuyuki, R. Kokawa. T. Itoh, H. Ikenoue
    • 学会等名
      The 5^<th> International TFT Conference
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2009-03-05
  • [学会発表] Floating Gate Memory Based on Ferritin Nanodots with High-K Gate Dielectrics2009

    • 著者名/発表者名
      K. Ohara. Y. Uraoka, T. fuyuki, I. Yamashita, T. Yaegashi, M. Moniwa, M. Yoshimaru
    • 学会等名
      The 5^<th> International TFT Conference
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2009-03-05
  • [学会発表] Experimental and Theoretical Analysis of In203-Ga203-Zn0 Thin Film Transistors under Constant VoItage Stress2009

    • 著者名/発表者名
      M. Fujii, Y. Uraoka, T. Fuyuki, J. Jun, J. Kwon
    • 学会等名
      The 5^<th> International TFT Conference
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2009-03-05
  • [図書] 薄膜トランジスタ2008

    • 著者名/発表者名
      浦岡行治(共著), 薄膜材料デバイス研究会
    • 総ページ数
      229
    • 出版者
      コロナ社

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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