シリコンカーバイド上の酸窒化シリコン膜とその上に形成する薄膜の構造解析

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20340077
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 物性Ⅰ
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 水野 清義 九州大学, 総合理工学研究院, 教授 (60229705)
• 研究分担者: 田中 悟 九州大学, 大学院・工学研究院, 教授 (80281640)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 表面構造解析 / 低速電子回折 / 酸窒化シリコン膜 / グラフェン / 電界イオン顕微鏡 / 電界誘起ガスエッチング / 電界放出

研究概要

シリコンカーバイド上の酸窒化シリコン膜やグラフェン膜、およびモリブデン上の酸化シリコン膜などの構造を低速電子回折法を用いて明らかにした。また、その表面上でのアルカリ金属吸着構造の解明や表面構造の再生法に取り組んだ。さらに、微小領域プローブ低速電子回折装置の開発を進め、グラフェン膜からの回折パターンの観察に成功した。その過程においては、電子線源となるタングステン針を、電界誘起ガスエッチング法により原子レベルで先鋭化するとともに、再現性良く広がり角の小さな電界放出電子線をとり出すことができるようになった。

研究成果

• [雑誌論文] Domain Structure and Boundary in Single-Layer Graphene Grown on Cu(111) and Cu(100) Films, Yul Ogawa, Baoshan Hu, Carlo M. Orofeo, Masaharu Tsuji, Ken-ichi Ikeda, Seigi Mizuno (2012)
  • 著者名/発表者名: Hiroki Hibino and Hiroki Ago
  • 雑誌名: Phys. Chem. Left 巻: 3 ページ: 219-226
  • 査読あり
• [雑誌論文] Epitaxial growth of large-area single-layer graphene over Cu(111)/sapphire by atmospheric pressure CVD (2012)
  • 著者名/発表者名: Baoshan Hu, Hiroki Ago, Yoshito Ito, Kenji Kawahara, Masaharu Tsuji, Eisuke Magome, Kazushi Sumitani, Noriaki Mizuta, Ken-ichi Ikeda, Seigi Mizuno
  • 雑誌名: Carbon 巻: 50 ページ: 57-65
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of<110> oriented tungsten nano-tips by fieldassisted water etching (2011)
  • 著者名/発表者名: Jo Onoda and Seigi Mizuno
  • 雑誌名: Appl. Surf Sci 巻: 257 ページ: 8427-8432
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface structure determination of silica single layer on Mo(112) by LEED (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuhiro Kinoshita and Seigi Mizuno
  • 雑誌名: Surf. Sci 巻: 605 ページ: 1209-1213
  • 査読あり
• [雑誌論文] Epitaxial Chemical Vapor Deposition Growth of Single-Layer Graphene over Cobalt Film Crystallized on Sapphire, Hiroki Ago (2010)
  • 著者名/発表者名: M. Orofeo, Masaharu Tsuji, Ken-ichi Ikeda, and Seigi Mizuno : ACS Nano
  • 雑誌名: Yoshito Ito, Noriaki Mizuta, Kazuma Yoshida, Baoshan Hu, Carlo 巻: 4 ページ: 7407-7414
  • 査読あり
• [雑誌論文] LEED analysis of graphite films on vicinal 6HSiC(0001) surface (2010)
  • 著者名/発表者名: Kenjiro Hayashi, Seigi Mizuno and Satoru Tanaka
  • 雑誌名: J. Novel Carbon Resource Sciences 巻: 2 ページ: 17-20
  • 査読あり
• [雑誌論文] Reinvestigation of the Biinduced Si(111)-(T 3 x f 3) surfaces by lowenergy electron diffraction, Takuya Kuzumaki (2010)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Tochihara, Kazuyuki Sakamoto : Surf Sci
  • 雑誌名: Tetsuroh Shirasawa, Seigi Mizuno, Nobuo Ueno 巻: 604 ページ: 1044-1048
  • 査読あり
• [雑誌論文] STEM observation of tungsten tips sharpened by fieldassisted oxygen etching (2010)
  • 著者名/発表者名: Jo Onoda, Seigi Mizuno and Hiroki Ago
  • 雑誌名: Surf Sci 巻: 604 ページ: 1094-1099
  • 査読あり
• [雑誌論文] Structure determination of the Cu(001) c(4x4)-Sn by lowenergy electron diffraction (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Yoshida, A. Okamoto, S. Mizuno and H. Tochihara
  • 雑誌名: Surf Sci 巻: 604 ページ: 534-539
  • 査読あり
• [雑誌論文] Stacking domains of epitaxial few-layer graphene on SiC(0001) (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Hibino, . Mizuno, H. Kageshima, M. Nagase and H. Yamaguchi
  • 雑誌名: Phys. Rev. 巻: B 80 ページ: 085406-1-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Stable surface termination on vicinal 6HSiC(0001) surfaces (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Hayashi, K. Morita, S. Mizuno, H. Tochihara and S. Tanaka
  • 雑誌名: Surf. Sci 巻: 603 ページ: 566-570
  • 査読あり
• [学会発表] Fabrication of<110> oriented tungsten nano-tips by fieldassisted water etching (2011)
  • 著者名/発表者名: Jo Onoda, Seigi Mizuno
  • 学会等名: 10th International Conference on the Structure of Surfaces
  • 発表場所: City University of Hong Kong
  • 年月日: 20110801-05
• [学会発表] Structure Determination of Silica Layer on Mo(112) by LEED (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Kinoshita and S. Mizuno
  • 学会等名: 10th International Conference on the Structure of Surfaces
  • 発表場所: City University of Hong Kong
  • 年月日: 20110801-05
• [学会発表] Growth and Structure of Ultra-thin Zinc Film on Rh(100) (2011)
  • 著者名/発表者名: D. Kato, J. Yuhara, T. Matsui and S. Mizuno
  • 学会等名: ICMAT11A-3688, International Conference on Materials for Advanced Technologies
  • 発表場所: Singapore
  • 年月日: 20110626-07
• [学会発表] Surface Electron Microscopy of Epitaxial Graphene (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Hibino, H. Kageshima, S. Tanabe, M. Nagase, S. Mizuno, and S. Tanaka
  • 学会等名: The Second International Symposium on the Science and Technology of Epitaxial Graphene, Amelia Island
  • 発表場所: USA, Sept
  • 年月日: 20100914-17
• [産業財産権] グラフェン薄膜の製造方法およびグラフェン薄膜 (2010)
  • 発明者名: 吾郷浩樹、伊藤由人、田中伊豆美、水野清義、辻正治
  • 産業財産権番号: 特許、特願、2 010-045930
  • 出願年月日: 2010-03-02
  • 外国