| 研究課題/領域番号 |
20340160
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| 研究機関 | 金沢大学 |
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研究代表者 |
上杉 喜彦 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (90213339)
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| 研究分担者 |
田中 康規 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (90303263)
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| キーワード | 高周波誘導プラズマ / MOSFETインバータ / DSP帰還制御 / 任意波形変調プラズマ / PWM/PLL帰還制御インバータ / 表面改質 / 機能性ナノ粒子生成 / プラズマ-材料相互作用 |
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| 研究概要 |
本研究は、これまで主としてプラズマ・材料化学の視点から捉えられてきた大気圧領域の高周波誘導プラズマに対して、低気圧プラズマや核融合プラズマで培われてきたプラズマ生成技術、計測技術や高周波技術を適用し、高効率で制御生の良い高機能誘導プラズマ源の開発を行い、新たな産業応用への展開を図ることを目的とした研究であり、平成22年度の研究成果として以下のものを得た。
(1)DSP帰還制御のための制御信号として、プラズマ粒子(アルゴン等)の励起温度を選択し、2波長分光器による実時間温度計測法とDSP帰還制御ループによりプラズマ温度に関する任意波形制御システムを構築した。(2)2台の任意波形出力機能付きMOSFETインバータを用いた時空間変調誘導プラズマシステムを構築し、その初期性能を確認した。(3)本研究で構築したインテリジェント高周波誘導プラズマ装置を用いて、金属及び高分子蒸気によるプラズマ熱流低減効果に関する実験に着手し、プラズマ対向材から放出される蒸気による熱流低減を示す初期結果を得た。(4)核融合材料試験の一環として、高周波誘導プラズマにより生成される低エネルギー・高粒子束水素原子照射による炭素系材料の損耗および炭素ダスト微粒子成長制御実験を行い、水素に対して数%の窒素ガス導入により炭素ダストの成長が著しく低下することを見いだしている。現在、核融合炉ダイバータ環境下に近い、低ガス圧力下における炭素ダスト成長制御実験をHeliotron-DRで行うための準備を行っている。
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