インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20340160
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 金沢大学
• 研究代表者: 上杉 喜彦 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (90213339)
• 研究分担者: 田中 康規 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (90303263)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 高周波誘導プラズマ / 熱プラズマ / 帰還制御 / プラズマ-材料相互作用

研究概要

DSP帰還制御のための制御信号として、プラズマ粒子(アルゴン等)の励起温度を選択し、2波長分光器による実時間温度計測法とDSP帰還制御ループによりプラズマ温度に関する任意波形制御システムおよび2台の任意波形出力機能付きMOSFETインバータを用いた時空間変調誘導プラズマシステムを構築し、その初期性能を確認した。本研究で構築したインテリジェント高周波誘導プラズマ装置を用いて、金属及び高分子蒸気によるプラズマ熱流低減効果に関する実験に適用した.

研究成果

• [雑誌論文] Influence of coilcurrent modulation on TiO2 nanoparticle synthesis using pulse-modulated induction thermal plasmas (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, H. Sakai, T. Tsuke, Y. Uesugi, Y. Sakai, K. Nakamura
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: vol.519 ページ: 7100-7105
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nanoparticle synthesis using high-powered pulse-modulated induction thermal plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, T. Nagumo, H. Sakai, Y. Uesugi, Y. Sakai, K. Nakamura
  • 雑誌名: J. Phys. D : Appl. Phys. 巻: Vol.43 ページ: 265201
  • 査読あり
• [雑誌論文] Study of Carbon Dust Formation and their Structure using Inductively Coupled Plasmas under High Atomic Hydrogen Irradiation (2009)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeguchi, M. Kyo, Y. Uesugi, Y. Tanaka, S. Masuzaki
  • 雑誌名: Journal of Nuclear Materials 巻: vol.390-391 ページ: 188-191
  • 査読あり
• [雑誌論文] Control of induction thermal plasmas by coil current modulation inarbitrary-waveform (2009)
  • 著者名/発表者名: Y. Tsubokawa, Y. Tanaka, Y. Uesugi
  • 雑誌名: J. Plasma Fusion Res. SERIES 巻: vol.8 ページ: 1353-1357
  • 査読あり
• [雑誌論文] Carbon erosion and dust for mationunder heavy atomic hydrogen irradiation (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeguchi, M. Kyo, Y. Uesugi, Y. Tanaka
  • 雑誌名: Journal of Plasma Fusion Research 巻: vol.3 ページ: 025. 1-025. 3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Spatial distribution of C2 spectra from induction thermal plasmas with polymer powder injection (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, T. Sakuyama, Y. Takeuchi, Y. Uesugi
  • 雑誌名: IEEE Trans. Plasma Science 巻: vol.36 ページ: 1058-1059
  • 査読あり
• [雑誌論文] CO2 and H2 gas mixture inclusion effect on shrinkage of Ar induction thermal plasmas (2008)
  • 著者名/発表者名: S. A. Al-Mamun, Y. Tanaka, Y. Uesugi
  • 雑誌名: IEE of Japan 巻: vol.128 ページ: 476-485
  • 査読あり
• [雑誌論文] Numericaland experimental investigations onthermal interaction between thermalplasma and solid polymer powders using induction thermal plasma technique (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, Y. Takeuchi, T. Sakuyama, Y. Uesugi, S. Kaneko, S. Okabe
  • 雑誌名: J. Phys 巻: vol.41 ページ: 025203. 1-025203. 15
  • 査読あり
• [雑誌論文] Influence of ontime onincreased number density of excitednitrogen atom in pulse modulated induction thermal plasmas (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, K. Hayashi, T. Nakamura, Y. Uesugi
  • 雑誌名: J. Phys 巻: vol.41 ページ: 185203. 1-185203. 10
  • 査読あり
• [学会発表] Erosion Properties of Polycrystalline Diamond Film under Low Energy and High Flux Atomic Hydrogen Irradiation (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeguchi, M. Kyo, Y. Uesugi, Y. Tanaka, S. Masuzaki
  • 学会等名: Plasma Surface Interaction
  • 発表場所: USA
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] Suppression of Carbon Agglomeration and Volatile Molecular Formation in C-H-N Reactive Molecular System (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Uesugi, M. Kyo, Y. Takeguchi, Y. Tanaka, S. Masuzaki
  • 学会等名: Plasma Surface Interaction PSI-2010
  • 発表場所: USA
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] New development of the feedback control type of modulated induction thermal plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, Y. Tsubokawa, Y. Uesaka, Y. Uesugi
  • 学会等名: Asia Pacific Conf. Plasma Sci. Technol
  • 発表場所: Korea
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] Frequency dependence for temperature modulation control of the feedback control type of modulated induction thermal plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, Y. Tsubokawa, Y. Uesaka*, Y. Uesugi
  • 学会等名: Asia Pacific Conf. Plasma Sci
  • 発表場所: Korea
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] Control of induction thermal plasmas by coil current modulation in arbitrary-waveform (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Tsubokawa, Y. Tanaka, Y. Uesugi
  • 学会等名: Int. Congress on Plasma Phys
  • 発表場所: Japan
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] Dynamic behavior of hydrogen and nitrogen radicals in pulse modulated induction thermal plasmas (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ito, Y. Tanaka, K. Hayashi, Y. Uesugi
  • 学会等名: Int. Congress on Plasma Phys
  • 発表場所: Japan
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] Investigation on temperature decay of thermal plasma with ablation of polymer materials (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Sakuyama, Y. Tanaka, Y. Uesugi, S. Kaneko, S. Okabe
  • 学会等名: Int. Congress on Plasma Phys
  • 発表場所: Japan
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] Behaviors of excited N, N2+and NH in modulated induction thermal plasmas (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Tanaka, K. Hayashi, T. Ito, Y. Uesugi
  • 学会等名: 35th IEEE Int. Conf. on Plasma Sci
  • 発表場所: Germany
  • 年月日: 20080600
• [備考]
  • URL: http://www.ee.t.kanazawa-u.ac.jp/staffs/tanaka/