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2008 年度 実績報告書

レーザー・放電ハイブリッド励起プラズマ光源における原子輻射過程の統合モデル構築

研究課題

研究課題/領域番号 20340166
研究機関独立行政法人日本原子力研究開発機構

研究代表者

佐々木 明  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (10215709)

研究分担者 西原 功修  国立大学法人・大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 特任研究員 (40107131)
砂原 淳  財団法人レーザー技術総合研究所, 研究員 (00370213)
古河 裕之  財団法人レーザー技術総合研究所, 副主任研究員 (70222271)
小池 文博  学校法人・北里大学, 医学部, 准教授 (90095505)
西川 亘  国立大学法人・岡山大学, 自然科学研究科, 助教 (80243492)
キーワードEUV光源 / シミュレーション / 原子過程 / 放電 / レーザープラズマ
研究概要

レーザーと放電励起を組み合わせたハイブリッド光源のシミュレーションモデル構築の第1年目の研究として、予備生成プラズマの特性の評価、原子データの収集・評価と、プラズマ電磁流体、原子過程、輻射輸送などの、UV〜X線領域の光源の特性を決定する要素を統合するモデルの要素技術の研究を行なった。
特に、原子データの収集、評価では、電荷交換分光実験およびオパシティ測定実験との比較より、原子エネルギー準位と輻射遷移確率の計算結果に対する配置間相互作用(CI)の効果に注目し、考慮する原子状態を系統的に変化させた収束計算を行なって、実験との一致の改善を得た。統合モデルの研究においては、モデルを、レーザー照射によるプラズマの予備生成過程、予備生成されたプラズマ中での放電の開始過程、放電プラズマのピンチ、圧縮、加熱とそれによるUV〜X線の発生の過程に分けて考えることとし、うち放電開始過程について、統計力学的な手法(パーコレーション)を用いたコードの試作を行い、それによって放電の確率的な性質、時間空間的な不均一性や構造形成が再現できることを明らかにした。特に放電の開始を相転移現象と捉えることにより、計算の空間分解能の制約によらず現象を再現し、液相、気相、プラズマ相が混在する複雑なプラズマの実サイズのシミュレーションが行なえる可能性を示した。また、プラズマの加熱、発光過程については、解析モデルおよび1次元流体シミュレーションによって、UV〜X線放射を効率的に発生させる動作条件や、統合モデルに対する要求に関する知見を得た。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (4件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] 多価イオンの衝突輻射モデルの構築の自動化支援2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木明, 西原功修, 村田真樹
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 84

      ページ: 546-554

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 極端紫外光源の原子モデルと最適設計2008

    • 著者名/発表者名
      西原功修, 砂原淳, 佐々木明, 田沼肇, 小池文博, 藤岡慎介, 西村博明, 島田義則
    • 雑誌名

      レーザー研究 36

      ページ: 690-699

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Plasma physics and radiation hydrodynamics in development of EUV light source for lithography2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nishihara, A. Sunahara, A. Sasaki, F. Koike, T. Nishikawa, H. Furukawa, 他16名
    • 雑誌名

      Phys. Plasmas 15

      ページ: 056708

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Detailed atomic modeling of Sn plasmas for the EUV source2008

    • 著者名/発表者名
      A Sasaki, A Sunahara, K Nishihawra, T Nishikawa, F Koike, H Tanuma
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. 112

      ページ: 042062

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Two dimensional radiation hydrodynamic simulation for extreme ultra-violet emission from laser-produced tin plasmas2008

    • 著者名/発表者名
      A. Sunahara, A. Sasaki, K. Nishihara
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. 112

      ページ: 042048

    • 査読あり
  • [雑誌論文] UV source design flexibility for lithography2008

    • 著者名/発表者名
      T. Nishikawa, A. Sunahara, A. Sasaki, K. Nishihara
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. 112

      ページ: 042065

    • 査読あり
  • [学会発表] Atomic processes in the LPP and LA-DPP EUV sources2009

    • 著者名/発表者名
      A. Sasaki, K. Nishihara, A. Sunahara, H. Furukawa, K. Nishikawa, F. Koike
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography 2009
    • 発表場所
      サンノゼ (米国)
    • 年月日
      2009-02-26
  • [学会発表] Development of the theoretical model of the plasma EUV source2008

    • 著者名/発表者名
      A. Sasaki, K. Nishihara, A. Sunahara, H. Furukawa, K. Nishikawa, F. Koike
    • 学会等名
      The 13^<th> International Workshop on Radiative Properties of Hot Dense Matter
    • 発表場所
      サンタバーバラ (米国)
    • 年月日
      2008-11-10
  • [学会発表] Development of the atomic model of Sn and Xe ions and its application to studies of the EUV source2008

    • 著者名/発表者名
      A. Sasaki, K. Nishihara, A. Sunahara, H. Furukawa, K. Nishikawa, F. Koike, M. Murata
    • 学会等名
      The 6^<th> International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Appications (ICAMDATA 2008)
    • 発表場所
      北京 (中国)
    • 年月日
      2008-10-30
  • [学会発表] Development of the atomic model of Sn and Xe ions and its application to studies of the EUV source2008

    • 著者名/発表者名
      A. Sasaki, A. Sunahara, K. Nishihara, K. Nishikawa, F. Koike, H. Tanuma
    • 学会等名
      14^<th> International Conference on the Physics of Highly Charged Ions (HCI2008)
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-09-02
  • [備考]

    • URL

      http://groups.google.co.jp/group/euv-s

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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