研究課題
基盤研究(B)
本研究により、新規生体適合圧電材料MgSiO_3を採用した生体内埋め込み圧電アクチュエータ・酵素燃料電池ハイブリッド薄膜の創製を行い以下の成果を得た。(1)RFマグネトロンスパッタリング装置により生体適合圧電材料MgSiO_3(MSO)の高配向多層薄膜創製に成功した。(2)Bio-MEMSに組み込むモノモルフ型アクチュエータの創製を行い、水および血清の搬送が可能であることを確認した。(3)グルコース捕捉による酵素燃料電池は電荷を得るものの発電には至らなかった。MSO薄膜を用いた片持ち梁構造発電システムの試作に成功した。
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