レーザ光の背面照射による透明材料の高アスペクト比クラックフリー加工

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20360065
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 戸倉 和 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (10016628)
• 研究分担者: 比田井 洋史 千葉大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60313334)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: レーザ / 透明材料 / 変質

研究概要

申請者らが見出した透明材料の内部変質現象を応用し,加工の可能性を追求する.金属箔/膜をガラス表面に載せ/成膜し,反対側の面よりガラスを透過してレーザ照射する.金属箔が加熱され接している部分のガラスも温度上昇する.その結果ガラス自身の光吸収率が上昇し,ガラス自体が光吸収し,内部に変質層を導入できる.この変質層とエッチングなどを組みあわせることでクラックフリー加工法の可能性を検討した.

研究成果

• [雑誌論文] Structural Changes in Silica Glass by Continuous-Wave Laser Backside Irradiation (CW-LBI) (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Hidai, M.Yoshioka, K.Hiromatsu, H.Tokura
  • 雑誌名: J.Am.Ceram.See 93, 6 ページ: 1597-1601
  • 査読あり
• [雑誌論文] Metal Particle Manipulation by Laser Irradiation in Borosilicate Glass (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Hidai, T.Yamazaki, S.Itoh, K.Hiromatsu, H.Tokura
  • 雑誌名: Opt.Exp. 18, 19 ページ: 20313-20320
  • 査読あり
• [雑誌論文] CWレーザ背面照射法(CW-LBI)によるガラスの内部変質(第3報)-ガラス内部への白金微粒子の導入- (2010)
  • 著者名/発表者名: 山崎貴斗, 比田井洋史, 戸倉和
  • 雑誌名: 精密工学会誌 76, 5 ページ: 577-581
  • 査読あり
• [雑誌論文] CWレーザ背面照射法(CW-LBI)によるガラスの内部変質(第4報)一白金微粒子導入により作製した変質層の評価一 (2010)
  • 著者名/発表者名: 山崎貴斗, 比田井洋史, 戸倉和
  • 雑誌名: 精密工学会誌 76, 6 ページ: 668-672
  • 査読あり
• [雑誌論文] CWレーザ背面照射法(CW-LBI)によるガラスの内部変質(第5報)一様々な金属のガラス内部への導入一 (2010)
  • 著者名/発表者名: 比田井洋史, 山崎貴斗, 伊東翔, 廣松邦明, 戸倉和
  • 雑誌名: 精密工学会誌 76, 8 ページ: 933-937
  • 査読あり
• [雑誌論文] Glass Modification by Continuous-Wave Laser Backside Irradiation (CW-LBI) (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Hidai, M.Yoshioka, K.Hiromatsu, H.Tokura
  • 雑誌名: Appl.Phys.A 96, 4 ページ: 869-872
  • 査読あり
• [学会発表] Metal Particle Implantation by Laser Irradiation in Borosiilicate Glass (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Hidai, H.Tokura
  • 学会等名: 29th International Congress on ICALEO 2010
  • 発表場所: アメリカ, カリフォルニア, アナハイム
  • 年月日: 2010-09-28
• [学会発表] レーザ照射によるガラス内部への金属微粒子の導入 (2010)
  • 著者名/発表者名: 比田井洋史, 戸倉和
  • 学会等名: 2010年度砥粒加工学会学術講演会
  • 発表場所: 岡山大学, 岡山県
  • 年月日: 2010-09-28
• [学会発表] レーザ照射によるガラス内部への金属微粒子の導入 (2010)
  • 著者名/発表者名: 比田井洋史, 山崎貴斗, 戸倉和
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学, 長崎県
  • 年月日: 2010-09-15
• [学会発表] Continuous-Wave Laser Induced Modification in Glasses (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Hidai, T.Watanabe
  • 学会等名: Internat.Conf.FLAMN-10, Fundamentals of Laser Assisted, Micro- & Nanotechnologies
  • 発表場所: ロシア, サンクトペテルブルグ
  • 年月日: 2010-07-07
• [学会発表] Glass Modification by Continuous Wave Laser Backside Irradiation (CW-LBI) -Study on the mechanism- (2009)
  • 著者名/発表者名: S.Itoh, H.Hidai, H.Tokura
  • 学会等名: Tnternat.Symp.Adv.Abrasive Technol.ISAAT 2009
  • 発表場所: オーストラリア, ゴースト
  • 年月日: 2009-09-28
• [学会発表] CWレーザ背而照射法によるガラスの内部変質-メカニズムの検討- (2009)
  • 著者名/発表者名: 伊東翔, 比田井洋史, 戸倉和
  • 学会等名: 2008年度精密工学会秋期大会学術講演会
  • 発表場所: 東北大学, 宮城県
  • 年月日: 2009-09-18
• [学会発表] 連続発振レーザによるガラスの変質とその現象観察 (2009)
  • 著者名/発表者名: 比田井洋史, 伊東翔, 戸倉和
  • 学会等名: レーザ協会
  • 発表場所: 東京工業大学, 東京都
  • 年月日: 2009-05-20
• [学会発表] CWレーザ背面照射法(CW-LBI)によるガラスの内部変質一光吸収材金属の影響一 (2009)
  • 著者名/発表者名: 山崎貴斗, 比田井洋史, 戸倉和
  • 学会等名: 2009年度精密工学会春期大会学術講演会
  • 発表場所: 中央大学, 東京都
  • 年月日: 2009-03-13
• [学会発表] CWレーザ背面照射法によるガラス内部のin-situ観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 伊東翔, 比田井洋史, 戸倉和
  • 学会等名: 2008年度砥粒加工学会学術講演会
  • 発表場所: 滋賀県立大学, 滋賀県
  • 年月日: 2008-09-03