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2010 年度 実績報告書

マイクロスラッシュ利用型超高熱流束混相電子冷却システムの開発

研究課題

研究課題/領域番号 20360082
研究機関東北大学

研究代表者

石本 淳  東北大学, 流体科学研究所, 准教授 (10282005)

キーワード混相流 / スラッシュ / 熱伝達 / 微粒化 / マイクロフルイディックス / 冷媒 / 極低温 / 凝固
研究概要

従来型電子冷却システムの限界を打破するため,本研究では,超高熱流束冷却が可能な高機能性冷媒としてマイクロスラッシュ二相流利用型超高熱流束電子冷却システムを提案する.これは断熱二流体ノズル内で極低温ヘリウムガスと過冷却液体窒素を高速で衝突混合,微細固体窒素噴霧を生成させ,これを次世代プロセッサの超高熱流束噴霧冷却システムへ適用しようとするものである.
今年度はマイクロスラッシュ噴霧の有する超高熱流束効果に関し,PIA粒子計測・非定常冷却熱流束のデータベース化とCFD計算条件取り込みによる融合計算を用いた総合的アプローチを行った.その結果,マイクロスラッシュ噴霧は液体窒素噴霧と比較して,1.5倍程度の限界冷却熱流束を得ることが可能であり,10^4W/m^2オーダーの限界熱流束値を得た.限界熱流束に達するまでの時間に関しても,マイクロソリッド噴霧により液体窒素噴霧の1/2の時間まで短縮可能であることを明らかにした.さらに,LN_2噴霧の場合,限界熱流束値を達成後に熱流束が除々に減少しているが,SN_2噴霧は,粒子がミクロンオーダであるため固相-気相への相変化に要する特性時間が非常に短く,膜沸騰状態を極力回避可能であるため限界熱流束値を達成後も冷却効果を持続可能であることが判明した.また,数値解析においては,Euler-Lagrange熱非平衡二流体モデルに基づいた基礎方程式系を構築し,計測結果簡易データベースを連携させた計算条件取り込みによるCFD融合計算を行い,マイクロスラッシュ噴霧流の熱流動特性とマイクロソリッド粒子の噴霧流動特性に関する融合型数値予測が可能となった.

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2010

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] Computational Prediction of the Effect of Micro-cavitation on an Atomization Mechanism in a Gasoline Injector Nozzle2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Ishimoto
    • 雑誌名

      Trans.ASME, Journal of Engineering for Gas Turbines and Power

      巻: 132 ページ: 082801

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermomechanical Resist Removal-Cleaning System Using Cryogenic Micro-Slush Jet2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Ishimoto
    • 雑誌名

      Proceedings of The Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS)

      巻: (CD-ROM)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Integrated Super Computational Prediction of Liquid Droplet Impingement Erosion2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Ishimoto
    • 雑誌名

      Proceedings of The Joint International Conference of the 7th Supercomputing in Nuclear Application and the 3rd Monte Carlo

      巻: (CD-ROM)

    • 査読あり
  • [学会発表] マイクロソリッドジェットによる超高熱流束冷却と新型半導体レジストはく離システムの開発2010

    • 著者名/発表者名
      石本淳, 丹大輔
    • 学会等名
      第88期日本機械学会流体工学部門講演会
    • 発表場所
      山形大学工学部(米沢市)
    • 年月日
      20101030-31

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公開日: 2013-06-26  

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