| 研究課題/領域番号 |
20360114
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| 研究機関 | 電気通信大学 |
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研究代表者 |
青山 尚之 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (40159306)
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| 研究分担者 |
岩田 太 静岡大学, 工学部, 准教授 (30262794)
大田 博 産業技術総合研究所, 計測標準部門, 室長 (80356641)
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| キーワード | 超小型機構 / ナノインプリント / 電磁石 / 圧電素子 / ボイスコイルモータ / 局所化学反応 / SPM / リニアスケール |
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| 研究概要 |
本研究では微細加工機能を有する1立方インチサイズの超小型自走精密機械を反応性ガスチャンバー内で稼動させ、機械的微細形状転写法(ナノイプリント)と微細化学反応加工を融合させた新しい高速微細表面加工法を提案し、実験的に検証すること。
すで基本性能を確立した圧電素子と電磁石を用いた超小型精密自走機構を改良し、ナノメートル移動分解能を有するようにし、さらにナノオーダの凹凸を有する微細な型を精密に加工面に転写するための新しい微動アクチュエータを提案し検討した。ここでは微小ボイスコイルアクチュエータにより微小加工されたクリスタル製の型を母材に転写し、熱または光で硬化させる。同時にピコリットルオーダーの極微小液滴の精密塗布機構により、局所において化学反応を発生させ、金属または非金属表面をナノ処理できるかどうかについて検証を行った。
本年度は従来のナノインプリントが平面への転写に限定されており、さらに微細立体形状の生成を試みた。ここでは微小ガラスピペットの中の液体を尖端加工したタングステンロッドを高速駆動し、ピペット内の液体を媒質液中に精密に吐出し、微小なカプセルを生成させることに成功した。さらに化学的な反応をさせて機械と化学を融合させたナノカプセルの生成について検討を進める。
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