| 研究課題/領域番号 |
20360114
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 電気通信大学 |
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研究代表者 |
青山 尚之 電気通信大学, 情報理工学研究科, 教授 (40159306)
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| 研究分担者 |
岩田 太 静岡大学, 工学部, 教授 (30262794)
大田 明博 産業技術総合研究所, 計測標準部門, 室長 (80356641)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| キーワード | 超小型機構 / ナノインプリント / 電磁石 / 圧電素子 / ボイスコイルモータ / 局所化学反応 / SPM / リニアスケール |
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| 研究概要 |
本研究では超小型自走精密機械を用い、機械的微細転写法と微細化学反応加工を融合させた新しい微細加工法を開発し、その性能を実験的に実証した。ナノメートル移動分解能を有する圧電素子と電磁石で構成された超小型精密自走機構にナノオーダの凹凸型を精密に転写する新しい微動アクチュエータを搭載した。またピコリットルオーダーの極微小液滴の精密塗布機構を開発し、局所的に化学反応を発生させ、微細機械加工と局所化学反応を融合させたナノカプセルの生成に実験的に成功した。
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