透明固体基板内部で回転する光駆動マイクロモーターの開発と応用

2010 年度 自己評価報告書

• 研究課題/領域番号: 20360115
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 徳島大学
• 研究代表者: 松尾 繁樹 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 (20294720)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2011
• キーワード: マイクロ・ナノデバイス / 光ピンセット / マイクロマシン / フェムト秒レーザー加工 / エッチング

研究概要

(1)各種の透明固体材料に対し,マイクロメートルスケールで,任意の三次元形状の除去加工を行う技術を開発する
(2)上記加工技術を基に,透明固体基板内部に,外部から持ち込むことはできないような可動構造物を内包する空洞を作製し,その構造物を外部から非接触で駆動(とくに回転駆動)させる。およびそれをマイクロ流体デバイスに応用する。
以上のことを日指し,これらに関わる一連の技術の開発を行っている。

研究成果

• [雑誌論文] Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate (2010)
  • 著者名/発表者名: K. Tokumi, S. Matsuo, S. Kiyama, T. Tomita, S. Hashimoto
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering Vol.5 ページ: 179-182
  • 査読あり
• [雑誌論文] Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH (2009)
  • 著者名/発表者名: Matsuo, H. Sumi, S. Kiyama, T. Tomita, S. Hashimoto
  • 雑誌名: Applied Surface Science Vol.255 ページ: 9758-9760
  • 査読あり
• [雑誌論文] Laser Fabrication and Manipulation of an Optical Rotator Embedded inside a Transparent Solid Material (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Kiyama, T. Tomita, S. Matsuo, S. Hashimoto
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering Vol.4 ページ: 18-21
  • 査読あり
• [雑誌論文] Hashimoto, Three- Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuo, K. Tokumi, T. Tomita, S.
  • 雑誌名: Laser Chemistry Vol.2008 ページ: 892721-1-892721-4
  • 査読あり
• [雑誌論文] Masuhara, Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, H.
  • 雑誌名: Applied Physics Letters Vol.93 ページ: 051107-1-051107-3
  • URL: http ://www.eco.tokushima-u.ac.jp/a1/matsuos/articles/2008APL.html
  • 査読あり
• [学会発表] Femtosecond laser-assisted micro removal processing inside transparent solids (2010)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuo
  • 学会等名: The 7th Asia-Pacific Laser Symposium
  • 発表場所: Seogwipo, Korea
  • 年月日: 2010-05-12
• [学会発表] Laser Internal Modification Plus Wet Etching for Micro- structuring Crystalline and Glassy Materials (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuo
  • 学会等名: The 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
  • 発表場所: Orlando, U.S.A.(招待講演)
  • 年月日: 2009-11-03
• [学会発表] Micro three-dimensional removal processing inside sapphire substrate (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Matsuo, et al.
  • 学会等名: The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
  • 発表場所: Kobe, Japan
  • 年月日: 2009-06-30
• [備考] ホームページ
  • URL: http://www.eco.tokushima-u.ac.jp/a1/matsuos/
• [産業財産権] レーザー光束制御装置及びレーザー光束エネルギー安定化装置 (2010)
  • 発明者名: 松尾繁樹
  • 権利者名: 徳島大学
  • 産業財産権番号: 特許、特願2010-203367
  • 出願年月日: 2010-09-10