| 研究課題/領域番号 |
20360156
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
三村 秀典 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (90144055)
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| 研究分担者 |
青木 徹 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (10283350)
根尾 陽一郎 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (50312674)
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| キーワード | 電界放出微小電子源 / 電子ビーム集束 / 静電レンズ / ナイフエッジ法 / 多段型電界放出微小電子源 / アインツェルレンズ / 焦点形成 |
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| 研究概要 |
前年度までの研究により、集束電極が電子引き出し電極の周りに配置され、エッチバック法で集束電極の高さを容易に制御できる新構造静電レンズ一体型電界放出微小電子源において、集束電極の高さを電子引き出し電極に対して、マイナス側にすることによって、集束電極に電子引き出し電極より低電圧を印加する集束動作を行っても、微小電子源のティップ先端の電界強度が減少せず、アノード電流の減少が極めて少なく、かつ電子ビームの集束が行えることがわかった。また、この電子源からの電子ビームはビームの対称性も極めて良いことが分かった。また、微小スリットを用いて、微小スリット以外のところで電子ビームをさえぎり、スリットを通過した電子ピームのみの電流を測定し、スリットを徐々に移動させる、修正ナイフエッジ法を開発して、ピーム径のリアルタイム測定を行った。それにより、修正ナイフエッジ法は、リアルタイムで最も正確な電子ビーム径を測定できることが分かった。平成22年度は、電子ビームの焦点の形成するため、エッチバック法を駆使して、従来の1段の集束電極だけでなく、世界で初めて3段の集束電極(アインチェルレンズを形成する)を持つ多段型電解放出微小電子源の形成を行った。ビーム径の計測を行ったところ、集束電極を増すにつれ、レンズ効果を強くすることが出来ることがわかった。しかし、3段の集束電極では、まだ電子ビームの焦点を形成するには至らなかった。そこで、4段の集束電極を持つ多段型電解放出微小電子源の形成を行い、ビーム径の計測を行い、電子ビームの焦点が形成されていることがわかった。
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