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【1】誘電泳動集積したカーボンナノチューブの電気めっき法にによるパラジウム修飾と水素ガスセンサへの応用
(1)誘電泳動によってマイクロ電極に集積したカーボンナノチューブをパラジウム塩溶液中に浸漬した後に電気めっき法によってカーボンナノチューブ上にパラジウムナノ粒子を析出させる手法を開発した。
(2)同手法でパラジウム修飾したカーボンナノチューブガスセンサを用いて最低で濃度0.01%の水素(空気希釈)を常温で検出することに成功した。
【2】水中マイクロプラズマを用いたカーボンナノチューブのパラジウム修飾と水素ガスセンサへの応用
(1)カーボンナノチューブを懸濁したパラジウム塩溶液中でパルスパワーによって発生させたマイクロプラズマを用いて、カーボンナノチューブ表面にパラジウムナノ粒子を析出させることに成功した。
(2)同手法でパラジウム修飾したカーボンナノチューブをマイクロ電極上に誘電泳動集積し水素ガスへの応答を調べた結果、最低で濃度0.01%の水素(空気希釈)を常温で検出可能であることがわかった。
【3】パラジウム修飾カーボンナノチューブガスセンサによる炭化水素系ガスの検出
(1)上記の2つの手法で作製したパラジウム修飾カーボンナノチューブガスセンサを用いて、炭化水素系ガスであるメタンおよびアセチレンを検出できることを確認した。
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