研究概要 |
メソ細孔形成用テンプレートとして界面活性剤の自己集合体を,マクロ細孔形成用テンプレートとしてポリメタクリル酸メチル(PMMA)球状微粒子を用い,スクリーン印刷法やディップコーティングによる修飾ゾル-ゲル法,高周波マグネトロンスパッタリング法などを利用することにより,微細構造を最適制御した多孔質構造を有する各種ガスセンサ(半導体式,固体電解質式,フォロルミネッセンス式,吸着燃焼式)を創製した。その微細構造や組成を最適化してガス反応性や拡散性を制御することで,センサ特性を大きく改善することに成功した。
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