固体表面と液中プラズマ泡の相互作用に関する研究

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20360335
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 愛媛大学
• 研究代表者: 豊田 洋通 愛媛大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (00217572)
• 研究分担者: 野村 信福 愛媛大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (20263957)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 薄膜プロセス / 液中プラズマ

研究概要

液中プラズマ化学蒸着法における膜形成の原理を,基板と液中プラズマ泡の相互作用をハイスピードカメラで観察することによって解明し,均質な膜形成のための条件を提示した.ダイヤモンドや,炭化珪素,窒化アルミニウムなどの化合物半導体を液中プラズマを用いて成膜するための化学反応の制御原理を解明した.液中プラズマ中では大きい電気陰性度の原子と小さいイオン化エネルギーの原子が優先的に化学反応することがわかった.

研究成果

• [雑誌論文] Diamond synthesis by plasma chemical vapor deposition in liquid and gas (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Toyota, S.Nomura, S.Mukasa, Y.Takahashi, S.Okuda
  • 雑誌名: Diamond & Related Materials 19 ページ: 418-422
  • 査読あり
• [雑誌論文] A comparison of diamond growth rate using in-liquid and conventional plasma chemical vapor deposition methods (2009)
  • 著者名/発表者名: Yoshiyuki Takahashi, Hiromichi Toyota, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa, Toru Inoue
  • 雑誌名: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 105 ページ: 113306-1-113306-4
  • 査読あり
• [学会発表] 液中プラズマ化学蒸着におけるプラズマ泡と基板の相互作用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 豊田洋通, 飯坂康介, 野村信福, 向笠忍, 服部吉晃
  • 学会等名: 日本機械学会中国四国支部・九州支部合同企画徳島講演会
  • 発表場所: 徳島県徳島市
  • 年月日: 2010-10-16
• [学会発表] A consideration of ternary C-H-O diagram for diamond deposition using microwave in-liquid and gas phase plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Toyota, S.Nomura, S.Mukasa, T.Shimo, S.Okuda
  • 学会等名: 21st European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
  • 発表場所: ハンガリー国ブダペスト市
  • 年月日: 2010-09-06
• [学会発表] A synthesis method of compound semiconductors using in-liquid plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Hiromichi Toyota, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa
  • 学会等名: International Workshop on Plasmas with Liquids
  • 発表場所: 愛媛県松山市
  • 年月日: 2010-03-23
• [学会発表] A synthesis method of compound semiconductors using in-liquid plasma (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiromichi Toyota, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa
  • 学会等名: 日本機械学会熱工学コンファレンス2009
  • 発表場所: 山口県宇部市
  • 年月日: 2009-11-07
• [学会発表] Diamond synthesis by plasma chemical vapor deposition in liquid and gas (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Toyota, S.Nomura, S.Mukasa, Y.Takahashi, S.Okuda
  • 学会等名: 20th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
  • 発表場所: ギリシャ国アテネ市
  • 年月日: 2009-09-07
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://www.me.ehime-u.ac.jp/labo/plasma/index.htm
• [産業財産権] 液中プラズマ反応装置,液中プラズマによる反応方法および結晶合成方法 (2010)
  • 発明者名: 豊田洋通, 野村信福, 他
  • 権利者名: 愛媛大学
  • 産業財産権番号: 特許,特許第4560606号
  • 取得年月日: 2010-06-21
• [産業財産権] 液中プラズマ発生方法 (2009)
  • 発明者名: 豊田洋通, 野村信福, 他
  • 権利者名: 愛媛大学
  • 産業財産権番号: 特許,特願2009-114083
  • 出願年月日: 2009-05-11
• [産業財産権] 多孔質膜およびその生成装置と生成方法 (2009)
  • 発明者名: 豊田洋通, 野村信福, 他
  • 権利者名: 愛媛大学
  • 産業財産権番号: 特許,特許第4370378号
  • 取得年月日: 2009-09-11