マイクロ金型の機能性表面創製とそのトライボロジー特性評価システムの開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20360336
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 首都大学東京
• 研究代表者: 楊 明 首都大学東京, 大学院・システムデザイン研究科, 教授 (90240142)
• 研究分担者: 真鍋 健一 首都大学東京, 大学院・理工学研究科, 教授 (10145667)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 精密造形プロセス / マイクロ金型 / 表面処理 / 精密計測 / トライボロジー

研究概要

金属材料のマイクロ成形,型内組立てを実現するために,マイクロ金型に適した表面仕上げ技術および表面コーティング技術を研究開発した.マイクロ成形プロセストライボロジー特性評価に適した評価装置を開発し,加工寸法のマイクロ化に伴う各種トライボロジー現象を解析し,マイクロ成形に適した金型および材料表面設計に関する知見と課題を体系的に整理した.今後,これらの知見を高精度マイクロ成形加工に適用し,高精度・低コストのマイクロデバイス製造技術に適用していく.

研究成果

• [雑誌論文] Deformation Behavior of Ultra-Thin Metal Foils in Strip Drawing Friction Test (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Shimizu, K. Manabe, M. Yang
  • 雑誌名: Key Engineering Materials Vol.443 ページ: 110-115
  • 査読あり
• [雑誌論文] Influence of Surface Topographical Interaction between Tool and Material in Micro-deep Drawing (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Shimizu, Y. Murashige, K. Ito,,K. Manabe
  • 雑誌名: Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering Vol.3-2 ページ: 397-408
  • 査読あり
• [雑誌論文] Application of Ion Irradiation for Surface Finish of Micro Forming Die (2008)
  • 著者名/発表者名: Ming Yang, Atsushi Osako
  • 雑誌名: Journal of Materials Processing Technology Vol.201 ページ: 315-318
  • 査読あり
• [雑誌論文] Validation of FE Simulation Based on Surface Roughness Model in Micro Deep Drawing (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Manabe, T. Shimizu, H. Koyama, M. Yang K. Ito
  • 雑誌名: Journal of Materials Processing Technology Vol.204 ページ: 89-93
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface Treatment of Micro Dies for Improving Tribological Properties (2008)
  • 著者名/発表者名: Ming Yang
  • 雑誌名: Journal of Steel research International Vol.2 ページ: 421-426
  • 査読あり
• [学会発表] Surface Modification of Metallic Foils by Vibration-Assisted Micro Forging (2011)
  • 著者名/発表者名: 西川顕二
  • 学会等名: The 6th International Conference of MicroManufacturing (ICOMM2011)
  • 発表場所: 東京電機大学(東京都)
  • 年月日: 2011-03-09
• [学会発表] Transitional Adhesion Behavior of Stainless Steel Foils in Dry Progressive Micro Deep Drawing Process (2011)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: The 6th International Conference of MicroManufacturing (ICOMM2011)
  • 発表場所: 東京電機大学(東京都)
  • 年月日: 2011-03-09
• [学会発表] Adhesive Wear on Dry Sliding Surface in Miniaturization of Deep-drawing Process (2010)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: International Conference on Materials Processing Technology 2010, MAPT2010
  • 発表場所: バンコク・タイ
  • 年月日: 20100100
• [学会発表] EVALUATION OF TRIBOLOGICAL CHARACTERISTICS FOR MICRO DIES (2010)
  • 著者名/発表者名: Ming YANG
  • 学会等名: International Forum on Micro Manufacturing 2010 (IFMM'10)
  • 発表場所: 長良川国際会議場(岐阜県)
  • 年月日: 2010-10-22
• [学会発表] Surface Modification of Sheets Metal by Vibration-Assisted Micro Forging (2010)
  • 著者名/発表者名: M. Yang
  • 学会等名: The 3rd Asian Workshop on Nano/Micro Forming Technology (AWMDT-2010)
  • 発表場所: ラマダ・プラザ・ホテル(済州・韓国)
  • 年月日: 2010-10-08
• [学会発表] 鍛造によるチタン薄材表面の微細成形 (2010)
  • 著者名/発表者名: 西川顕二
  • 学会等名: 日本機械学会2010年度年次大会
  • 発表場所: 名古屋工業大学(愛知県)
  • 年月日: 2010-09-08
• [学会発表] Plastic Deformation in Surface Layer of Metal Foil in Strip Drawing Test (2010)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: The 4th International Conference on Tribology in Manufacturing Processes (ICTMP2010)
  • 発表場所: Acropolis exhibition centre(ニース・フランス)
  • 年月日: 2010-06-14
• [学会発表] Deformation Behavior of Ultra-thin Metal Foils in Strip Drawing Friction Test (2010)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: The 9th Asia-Pacific Conference on Materials Processing (APCMP2010)
  • 発表場所: University of New South Wales,(シドニー・オーストラリア)
  • 年月日: 2010-06-09
• [学会発表] 金属極薄材の帯板引抜き型摩擦試験における変形挙動の実験的評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: 平成22年度塑性加工春季講演会
  • 発表場所: 電気通信大学(東京都)
  • 年月日: 2010-05-29
• [学会発表] Surface Modification of Titanium Sheets Metal by Micro-forging (2010)
  • 著者名/発表者名: 西川顕二
  • 学会等名: The 5th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM/4M 2010)
  • 発表場所: University of Wisconsin(マディソン・アメリカ)
  • 年月日: 2010-04-07
• [学会発表] りん青銅極薄箔材のマイクロ深絞り性に及ぼす内部結晶組織の影響 (2009)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: 日本伸銅協会 銅及び銅合金技術研究会第49回講演大会
  • 発表場所: 京都テルサ(京都府)
  • 年月日: 20091100
• [学会発表] A Precise Forming System for Fabrication of Micro Metallic Devices (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Yang
  • 学会等名: AWNFT-2009
  • 発表場所: 長沙市・中国
  • 年月日: 20091000
• [学会発表] マイクロ金型のトライボロジー特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 木村悠
  • 学会等名: 日本機械学会2009年度年次大会
  • 発表場所: 岩手大学(岩手県)
  • 年月日: 20090900
• [学会発表] アルミニウム合金箔材の表面特性が及ぼすマイクロ深絞り性への影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: 第59回塑性加工連合講演会
  • 発表場所: 広島大学(広島県)
  • 年月日: 2008-11-09
• [学会発表] Design and Fabrication of Metallic MEMS (2008)
  • 著者名/発表者名: Ming Yang
  • 学会等名: The 9th International Conference on Technology of Plasticity (ICTP 2008)
  • 発表場所: Hotel Hyundai(慶州・韓国)
  • 年月日: 2008-09-10
• [学会発表] マイクロ深絞り成形性に及ぼす金型表面性状の影響に関する実験的検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 清水徹英
  • 学会等名: 平成20年度塑性加工春季講演会
  • 発表場所: 日本大学津田沼キャンパス(千葉県)
  • 年月日: 2008-05-24