| 研究課題/領域番号 |
20540479
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| 研究機関 | 岩手大学 |
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研究代表者 |
藤原 民也 岩手大学, 工学部, 教授 (70042207)
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| 研究分担者 |
高木 浩一 岩手大学, 工学部, 准教授 (00216615)
向川 攻治 岩手大学, 工学部, 助教 (60333754)
高橋 和貴 岩手大学, 工学部, 助教 (80451491)
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| キーワード | プラズマ・核融合 / 気体放電 / 低温プラズマ / 放電プラズマ |
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| 研究概要 |
本研究の目的は、自己消孤を利用した大気圧低温プラズマ源の開発とその応用である。大気圧低温プラズマの発生法としてバリア放電が広く利用されている。バリア放電の自己消孤は、誘電体と背後電極との間に形成される浮遊容量の存在によって起る。これに対して本研究では、誘電体に点在させた銅箔と背後電極との間に形成される静電容量によって自己消孤が起る。本研究で開発するプラズマ源には、放電開始電圧が従来のバリア放電よりも低いこと、マイクロ放電(微小放電)の発生数や発生場所が放電条件(特にガスの流れ)に左右されないという利点がある。
平成20年度の研究では、上記の利点のうち、放電開始電圧の低さについて実験的検討を行った。放電開始電圧の制御のため、背後電極にはメッシュ電極を用い、また、表面(放電領域側)にはパッチ電極を導入し、それぞれの寸法を変化させてプラズマの生成実験を行った。この結果、メッシュ電極の細線間隔が小さくなるにつれて、本方式のほうが従来型誘電体バリア放電よりも放電開始電圧が低下し、また、同一電力で比較すると1周期あたりの移動電荷量は大きいことが明らかとなった。また、パッチ電極を導入することにょって、メッシュ電極を導入した時よりも放電開始電圧が低く、移動電荷量が大きいことがわかった。
平成21年度の計画として、マイクロ放電(微小放電)の発生数や発生場所についての検討を深め、また、発生するプラズマは低温プラズマであることを示す予定である。さらに、本方式によって大気圧プラズマの犬面積化を行う。さらに、もう一つの目的である応用について(ここでは主にオゾン生成と表面処理)の可能性について予備実験を行う。これらの結果を従来のバリア放電と比較対比させ、新方式大気圧低温プラズマ源の利点と欠点を明確にする。
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