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2009 年度 実績報告書

新方式大気圧低温プラズマ源の開発と応用

研究課題

研究課題/領域番号 20540479
研究機関岩手大学

研究代表者

藤原 民也  岩手大学, 工学部, 教授 (70042207)

研究分担者 高木 浩一  岩手大学, 工学部, 准教授 (00216615)
向川 政治  岩手大学, 工学部, 准教授 (60333754)
高橋 和貴  岩手大学, 工学部, 助教 (80451491)
キーワードプラズマ・核融合 / 気体放電 / 低温プラズマ / 放電プラズマ
研究概要

本研究の目的は、自己消孤を利用した大気圧低温プラズマ源の開発とその応用である。大気圧低温プラズマの発生法としてバリア放電が広く利用されている。バリア放電の自己消孤は、誘電体と背後電極との間に形成される浮遊容量の存在によって起る。これに対して本研究では、誘電体に点在させた銅箔と背後電極との間に形成される静電容量によって自己消孤が起る。本研究で開発するプラズマ源には、放電開始電圧が従来のバリア放電よりも低いこと、マイクロ放電(微小放電)の発生数や発生場所が放電条件(特にガスの流れ)に左右されないという利点がある。
平成20年度には、銅箔付きバリアの製作技術を確立し、主として放電開始電圧を調べた。その結果、本方式の放電が従来の誘電体バリア放電よりも放電開始電圧が25%程度低いことなどを明らかにした。
平成21年度の研究では、銅箔のサイズと数を変えて放電の安定性を調べた。その結果、銅箔の直径は0.5~0.7mm、バリア面上の銅箔数は1295~2300/(50mm×75mm)のとき放電はバリア表面に一様に形成されて、長時間安定であることがわかった。CCDカメラを使った写真撮影から、微小放電は初め一部の銅箔の周囲から始まるが、時間の経過とともに放電はバリア表面に一様に広がることがわかった。本方式の1周期あたりの移動電荷量は、消費電力が100mWでは約800nC、200mWでは1500nCであった。この値はバリア放電の移動電荷量よりも約20%大きい。移動電荷量は大きいが、本放電方式は低温プラズマ源であることを確かめた。すなわち、高分子材料PETを本プラズマに2分間晒し、その後目視による観察からは高分子材料に熱的損傷は確認されなかった。またプラズマに晒したことにより親水性の向上が確認されたが、表面処理は平成22年度本格的に取り組む課題である。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2009

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] Measurement of Heat Flux Applied from Atmospheric Pressure Plasma Jets to Substrate Using a LiNbO_3 Laser Interferometer2009

    • 著者名/発表者名
      T.Shimokawara, S.Mukaigawa, Y.Shida, K.Takahashi, K.Takaki, T.Fujiwara
    • 雑誌名

      Transaction of the Materials Research Society of Japan 3

      ページ: 267-270

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Trend of Large-Area, Atmospheric-Pressure, Plasma Source2009

    • 著者名/発表者名
      T.Fujiwara
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 129

      ページ: 54-55

  • [学会発表] 大気圧プラズマジェットを用いた高分子表面処理と基板への投入エネルギー2009

    • 著者名/発表者名
      向川政治、下河原孝夫、北慎勇希、長谷川達也、高木浩一、藤原民也
    • 学会等名
      電気学会プズマ・パルスパワー・放電合同研究会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      2009-08-07
  • [学会発表] 浮遊電極を利用した自己消弧放電による大気圧プラズマの発生2009

    • 著者名/発表者名
      松本創、志田寛、高橋和貴、向川政治、高木浩一、藤原民也
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      2009-06-13
  • [学会発表] 高周波大気圧プラズマを用いた高分子材料表面の親水性向上と浮遊電極の影響2009

    • 著者名/発表者名
      北慎勇希、伊藤寛、志田寛、向川政治、高木浩一、藤原民也
    • 学会等名
      電気学会パルスパワー・放電合同研究会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2009-05-28

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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