超臨界高周波プラズマによる新規プラズマプロセスの開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20540484
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 愛媛大学
• 研究代表者: 前原 常弘 愛媛大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (40274302)
• 研究分担者: 川嶋 文人 愛媛大学, 農学部, 寄付講座准教授 (60346690)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 超臨界 / 高周波プラズマ / プロセス

研究概要

電極間に高周波を印加し、プラズマを大気圧下で発生させる。その後、高圧ポンプにより二酸化炭素を供給して所定の圧力まで加圧する。このような方法で、超臨界を含む高圧下での高周波プラズマを発生・維持させる。本方法で得たプラズマの基礎特性として、温度を分光計測から評価した。さらに、線スペクトルの広がりから、密度の評価を試みたが、現時点で困難であることが明らかとなった。一方、応用として種々のナノ材料生成を行った。

研究成果

• [雑誌論文] Spectroscopic measurements of radio frequency plasmas in supercritical fluids (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Maehara, A.Iwamae, A.Kawashima
  • 雑誌名: AIP Conference Proceedings 1290 ページ: 44-52
• [雑誌論文] 小特集超臨界中プラズマの基礎と応用(第3章) (2010)
  • 著者名/発表者名: 前原常弘、川嶋文人
  • 雑誌名: プラズマ・核融合学会誌 86 ページ: 312-316
• [雑誌論文] 超臨界二酸化炭素高周波プラズマの開発研究,Jasco Report (2010)
  • 著者名/発表者名: 川嶋文人、前原常弘、豊田洋通、向笠忍、野村信福
  • 雑誌名: 超臨界最新技術特集 第10号 ページ: 5-9
• [雑誌論文] Spectroscopic Measurements of High Frequency Plasma in Supercritical Carbon Dioxide Phys. (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Maehara, A.Kawashima, A.Iwamae, S.Mukasa, T.Takemori, T.Watanabe, K.Kurokawa, H.Toyota, S.Nomura
  • 雑誌名: Plasmas 16 ページ: 033503(5)
• [学会発表] Spectroscopic Measurements of High Frequency Plasma Jet in Supercritical Argon (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Kihara, T.Maehara, S.Nomura,, H.Toyota, S.Mukasa, A.Kawashima
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2011)
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 2011-03-08
• [学会発表] Spectroscopic Measurements of Radio Frequency Plasmas in Supercritical Fluids (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Maehara, A.Iwamae, A.Kawashima
  • 学会等名: 20th International Conference on Spectral Line Shapes
  • 発表場所: Memorial University of Newfoundland, Canada
  • 年月日: 2010-06-07
• [学会発表] Characterization of high-frequency supercritical CO_2 plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: A.Kawashima, T.Maehara, T.Watanabe, S.Nomura, H.Toyota, S.Mukasa, H.Yamashita, A.Kawashima
  • 学会等名: International Work Shop on Plasmas with Liquids
  • 発表場所: 奥道後ホテル(松山市)
  • 年月日: 2010-03-23
• [学会発表] Generation of Dielectric Barrier Discharge in Supercritical Argon (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Shiraishi, T.Mahara, S.Mukasa, H.Toyota, S.Nomura, A.Kawashima
  • 学会等名: International Work Shop on Plasmas with Liquids
  • 発表場所: 奥道後ホテル(松山市)
  • 年月日: 2010-03-23
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素高周波プラズマの分光解析 (2009)
  • 著者名/発表者名: 渡辺高志、前原常弘、野村信福、豊田洋通、向笠忍、岩前敦、川嶋文人
  • 学会等名: 化学工学会第74回年会
  • 発表場所: 横浜国立大学
  • 年月日: 2009-03-20
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素中高周波プラズマの分光計測 (2009)
  • 著者名/発表者名: 前原常弘、岩前敦、向笠忍、竹森俊彦、渡辺高志、黒河賢哉、豊田洋通、野村信福、川嶋文人豊田
  • 学会等名: プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2009-02-04