大規模マイクロ波ラインプラズマの生成技術に関する研究

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20540486
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 東海大学
• 研究代表者: 進藤 春雄 東海大学, 情報理工学部, 教授 (20034407)
• 連携研究者: 沖村 邦雄 東海大学, 情報理工学部, 教授 (00194473)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 大面積プラズマプロセス

研究概要

次世代大型ディスプレイパネル対応の大面積プロセスや太陽電池薄膜CVD用大面積プラズマ源の実現を目的に、大規模マイクロ波ラインプラズマ生成技術の研究を行い、最長2mのラインプラズマ生成に成功した。プラズマ電子密度の軸方向一様性は長さ2mにわたって4%以内、電子密度は最大7x1011cm-3の高密度であり、電子密度の値がマイクロ波カットオフ密度より十分に高い密度となる条件が軸方向一様性を決めていることを明らかにした。

研究成果

• [雑誌論文] 大規模マイクロ波ラインプラズマの開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 進藤春雄
  • 雑誌名: Journal of Plasma and Fusion Research Vol.87、No.1 ページ: 18-23
  • 査読あり
• [雑誌論文] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 進藤春雄
  • 雑誌名: ケミカルエンジニヤリング Vol.55、No.12 ページ: 52-58
  • 査読あり
• [雑誌論文] Large-Scaled ECR Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide (2010)
  • 著者名/発表者名: Haruo SHINDO、Yasuhito KIMURA、Takashi HIRAO
  • 雑誌名: Abstract of 18th International conference on Gas Discharges and Their Applications ページ: 422-425
  • 査読あり
• [雑誌論文] A New Method of Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide (2009)
  • 著者名/発表者名: Yasuhito Kimura、Hideki Kawaguchi、Shin Kagami、Masakazu Furukawa、Haruo Shindo
  • 雑誌名: Applied Physics Express 2 ページ: 126002-1-126002-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] 2m Long Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide (2009)
  • 著者名/発表者名: Haruo Shindo、Yasuhito Kimura
  • 雑誌名: Advances in Applied Plasma Science Vol.7 ページ: 211-214
  • 査読あり
• [雑誌論文] 2m Long Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguideq (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Shindo、Y.Kimura
  • 雑誌名: 17^<th> International Colloquium on Plasma Processes ページ: 111
  • 査読あり
• [雑誌論文] LARGE-SCALED LINE PLASMA PRODUCTION BY EV ANESCENT MICROWAVE IN A NARROWED RECTANGULAR WAVEGUIDE (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Shindo、Y.Kimura、N.Sato、M.Suzuki
  • 雑誌名: X VII International Conference on Gas Discharges and Their Applications ページ: 417-420
  • 査読あり
• [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの電子密度の電力依存性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 渡部智、岡部優登、木村康人、進藤春雄
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 20100900
• [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成(III) (2010)
  • 著者名/発表者名: 木村康人、増田哲也、矢吹和輝、柴田林太郎、進藤春雄
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 20100300
• [学会発表] 2m長マイクロ波ラインプラズマの生成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 木村康人、進藤春雄
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 20090900
• [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成(II) (2009)
  • 著者名/発表者名: 木村康人、進藤春雄
  • 学会等名: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 20090300
• [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成 (2008)
  • 著者名/発表者名: 木村康人、進藤春雄
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 20080900