酸化物半導体の光電子物性の解明と紫外線センサーへの応用

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560018
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 応用物性・結晶工学
• 研究機関: 関西大学
• 研究代表者: 齊藤 正 関西大学, システム理工学部, 教授 (30388417)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 半導体 / 酸化物半導体 / 光デバイス / ソーラーブラインド

研究概要

酸化物半導体の光電子物性を解明して太陽光に感度を持たない(ソーラーブラインド)深紫外線光検出器を実現することを目指した.ゾルゲル法により作製した酸化ガリウム膜は波長245～260nmに感度を有し,ソーラーブラインドデバイスとして動作することを示した.感度波長制御可能な材料として.Zr1-_xTi_xO_2についても検討した.Zr1-_xTi_xO_2はZrとTiの組成比により3.6～5.2eVの範囲でバンドギャップを制御できることを確認し,ソーラーブラインドの材料として有望であることを示した.