研究課題
基盤研究(C)
電気的に中性な希ガスビームが、分析プローブとなっている。入射エネルギーは、3keV以下であり、100kHzにパルス化している。このパルス化された原子ビームを絶縁体表面に照射し後方散乱された粒子をMCP で検出した。実際には飛行時間を計測することで表面元素の同定が行える仕組みとなっている。試料を面内回転及び極軸回転することで絶縁体表面第1原子層から第3原子層までの情報が得られる。空間分解能は、0.1A以下である。この装置に係る計測制御系を全設計自作し、マッピングができるようにした。
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