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2008 年度 実績報告書

GaPテラヘルツ光源による分光エリプソメトリーと高精度膜厚計測に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 20560026
研究機関首都大学東京

研究代表者

佐々木 哲朗  首都大学東京, 戦略研究センター, 准教授 (20321630)

キーワードテラヘルツ / 反射分光 / 複素屈折率
研究概要

テラヘルツ分光エリプソメトリーの装置の基となる反射分光測定装置を試作し、各種有機分子の反射分光測定が可能となり、吸収係数と屈折率を独立に計測できるようになった。実際に結晶性の良いグリシンやアスコルビン酸などの有機結晶を成長し、これらに対してテラヘルツ波反射偏光スペクトル測定を適用し、指紋スペクトルとして利用可能な、特徴的な反射スペクトルと偏光方向の結晶面依存性を得ることができるようになった。反射型測定の構成では、不可視であるテラヘルツ波のアライメントが難しいので、専用アライメント補助冶具を自作し、実験の効率化が達成された。テラヘルツ分光エリプソメトリー装置のパーツ開発において、検光子として有機材料グリッド偏光子を用いると、当初利用を検討していたワイヤーグリッドよりも高い透過率が得られ、エリプソメトリーには望ましいことがわかった。また、GaP結晶を導波路構造として、励起光の偏光方向を操作することにより、出力テラヘルツ波に楕円偏光特性が得られることがわかった。このように、エリプソメトリーのためのパーツは揃いつつある。しかしながら、初年度計画の中でもともと課題としていたテラヘルツ位相変調の方法は現時点で解決されておらず、分光エリプソメトリーは実現されていない。高分子シートなどを非接触で膜厚計測する方法として、干渉フリンジを利用する方法では屈折率既知の材料に対して、再現性の高い結果を得ている。今後エリプソメトリーの実現により、未知物質にも適用することを目指す。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2009 2008

すべて 学会発表 (4件)

  • [学会発表] GaPテラヘルツ波導波路構造作製とテラヘルツ波出力特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      斉藤恭介、田邉匡生、小山裕、佐々木哲朗、西澤潤一
    • 学会等名
      第144回日本金属学会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2009-03-29
  • [学会発表] Terahertz Signal Generator and its Application for Life Science and Material Science2008

    • 著者名/発表者名
      Jun-ichi Nishizawa, Tetsuo Sasaki
    • 学会等名
      APAM General assembly and Conference
    • 発表場所
      New Delhi, India
    • 年月日
      2008-11-18
  • [学会発表] 導波路型GaP結晶を用いた楕円偏光テラヘルツ波発生2008

    • 著者名/発表者名
      斉藤恭介、田邉匡生、小山裕、木村智之、佐々木哲朗、西澤潤一
    • 学会等名
      2008年秋季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-03
  • [学会発表] THZ-wave generation from GaP rib waveguides by difference frequency mixing2008

    • 著者名/発表者名
      K. Saito, T. Tanabe, K. Nozawa, K. Suto, T. Sasaki, J. Nishizawa, Y. Oyama
    • 学会等名
      ICO-21 2008 Congress
    • 発表場所
      Sydney, Australia
    • 年月日
      2008-07-08

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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