微小試料の段差・歪み量を並列測定する光周波数走査顕微干渉システムの開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560030
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 応用光学・量子光工学
• 研究機関: 北海道大学
• 研究代表者: 覚間 誠一 北海道大学, 大学院・工学研究院, 助教 (90204338)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 光周波数走査 / 干渉計 / 半導体レーザ / 長さ変化 / 形状計測 / 光計測

研究概要

周波数走査を広範囲に行える面発光型半導体レーザを2個同時に使用する顕微干渉システムを構築した。その特色は2つのレーザを同時かつ互いに逆方向に周波数走査することで被検物体の幾何的サイズ・歪み量を同時に測定できる点にある。検証試験を行ったところ、200μm立方の金属試料の形状を測定でき、かつ温度膨張量の検出も行えることが示された。

研究成果

• [雑誌論文] Resolution improvement in vertical-cavity-surface-emitting-laser diode interferometry based on linear least-squares estimation of phase gradients of phase-locked fringes (2010)
  • 著者名/発表者名: S. Kakuma and Y. Katase
  • 雑誌名: Opt. Rev. 巻: Vol.17 ページ: 481-485
  • 査読あり
• [雑誌論文] 波長走査半導体レーザによる高精度長さ測定 (2009)
  • 著者名/発表者名: 覚間誠一、片瀬康彦
  • 雑誌名: 光アライアンス 巻: 20巻 ページ: 41-45
• [学会発表] 面発光型半導体レーザ顕微干渉計による微小物体の精密形状計測 (2011)
  • 著者名/発表者名: 覚間誠一、片瀬康彦
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学工学部(金沢県金沢市)
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] 広領域周波数走査面発光半導体レーザ干渉計による微小物体の3次元形状計測 (2010)
  • 著者名/発表者名: 片瀬康彦、覚間誠一
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2010
  • 発表場所: 中央大学駿河台記念館(東京都千代田区)
  • 年月日: 2010-11-10
• [学会発表] 面発光型半導体レーザを用いた広領域波長走査干渉測長法 (2010)
  • 著者名/発表者名: 覚間誠一、片瀬康彦
  • 学会等名: 光計測シンポジウム
  • 発表場所: パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
  • 年月日: 2010-06-09
• [学会発表] PLL型周波数走査VCSELを用いたキャリア位相勾配推定による精密長さ測定 (2009)
  • 著者名/発表者名: 片瀬康彦、覚間誠一
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2009
  • 発表場所: 新潟朱鷺メッセ(新潟市)
  • 年月日: 2009-11-26
• [学会発表] PLL型波長走査干渉計を用いた干渉縞位相勾配推定による絶対長さ測定 (2009)
  • 著者名/発表者名: 覚間誠一、片瀬康彦
  • 学会等名: 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 神戸大学(神戸市)
  • 年月日: 2009-09-12
• [学会発表] 双方向周波数走査面発光レーザを用いる高安定・高分解能干渉測長 (2009)
  • 著者名/発表者名: 覚間誠一、片瀬康彦
  • 学会等名: 第56回応用物理学会関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学(つくば市)
  • 年月日: 2009-04-01
• [学会発表] 一対の面発光レーザによる高精度周波数走査干渉測長法 (2009)
  • 著者名/発表者名: 覚間誠一、片瀬康彦
  • 学会等名: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 中央大学(東京都千代田区)
  • 年月日: 2009-03-12