2010 年度研究成果報告書

高機能薄膜被覆材料の耐久性に対する微視構造ベース評価手法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	20560073
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	機械材料・材料力学
研究機関	京都大学
研究代表者	星出敏彦京都大学, エネルギー科学研究科, 教授 (80135623)
研究期間 (年度)	2008 – 2010
キーワード	材料設計 / プロセス / 物性 / 評価
研究概要	スパッタリング法を用いて,ホウケイ酸ガラス基板上にセラミック薄膜を形成し,セラミック被膜の微視構造の状態を反映する巨視的な物性と考えられる表面粗さおよび微小硬度を計測した.相対硬度,相対粗さの平方根の逆数およびスパッタ時間の指数関数を乗じた関数として,被覆材料の強度改善率を評価する手法を提案した.その結果,推定強度は実験結果に対して±10%の範囲内で一致した.また,被覆材料の最小疲労寿命は平均強度のべき数関数として表示できることがわかった