| 研究課題/領域番号 |
20560084
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
内田 仁 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30047633)
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| 連携研究者 |
山下 正人 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60291960)
花木 聡 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20336829)
中谷 正憲 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教 (80581553)
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| 研究協力者 |
冷 波 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 院生
向山 和孝 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 院生
植山 広基 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 院生
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| キーワード | 機械材料 / 長寿命化 / 薄膜 / イオンビーム / 内部応力 |
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| 研究概要 |
真空蒸着とイオン照射を融合したイオンビーム援用蒸着法により窒化ホウ素(BN)薄膜を作製し,薄膜の内部応力に及ぼす成膜条件の影響を調べた。その結果,BN薄膜に生じる圧縮の内部応力は,立方晶のBN 相が形成される成膜条件すなわち低加速電圧・高輸送比(B/N)側において硬度と共に増大し,両者には高い負の相関が認められる。特に中間層を稠密六方晶のBN薄膜で積層化すると,硬度が低下しないで内部応力を緩和できる。
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