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2009 年度 実績報告書

0.1アトリットルを滴下制御するナノピペットプローブ顕微鏡微細加工装置の開発

研究課題

研究課題/領域番号 20560105
研究機関静岡大学

研究代表者

岩田 太  静岡大学, 准教授 (30262794)

キーワードナノピペット / SPM / プローブ / マニピュレーション / 微細加工 / 顕微鏡 / 堆積加工 / 滴下制御
研究概要

平成21年度は以下について取り組んだ。
(1)ナノ流体の滴下制御法の確立
20年度までにピペットプローブからの滴下法として電界印加法の滴下制御法によりサブアトリットル程度で滴下可能なことを確認できていたので21年度は電界印加のパラメータ最適化により、さらに信頼性が高く高速な滴下法を確立した。具体的にはナノ流体が電界により滴下可能であるが安定性を得るためには電圧ではなく電流をモニタリングしながらチャージ量を制御することにより、高安定な滴下装置を実現することができた。電荷のカウントは高精度電流アンプをパソコンにて取得し、電荷を計算しながら設定値に達したときにプローブを基板表面から離すことで実現した。
(2)3次元構造物の作製技術への検討(岩田、大学院生)
本手法により制御の安定化を実現後、ステージとソフトウェアを改良することで本手法での3次元化への検討を行った。手法としてはめっき構造の作製を検討し、加工中にステージを上下させることで3次元化を試みた。これにより3次元的にも堆積できることを確認した。今後はこの3次元化いおける最適化などを試みていくことで新しい微細立体造形法を開発できると思われる。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (3件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Production of ultrafine atmospheric pressure plasma jet with nano-capillary2010

    • 著者名/発表者名
      R.Kakei a, A.Ogino, F.Iwata, M.Nagatsu
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: 3457-3460

    • 査読あり
  • [雑誌論文] マイクロ磁気プローブで操作された磁性体微粒子による生体試料のマニピュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      伊東聡, 岩田太, 中尾秀信, 七里元晴
    • 雑誌名

      精密工学会誌 76

      ページ: 64-68

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local electrophoresis deposition ofnanomaterials assisted by a laser trappingtechnique2009

    • 著者名/発表者名
      F.Iwata, M.Kaji, A.Suzuki, S.Ito, H.Nakao
    • 雑誌名

      Nanotechnology 20

      ページ: 235303-235308

    • 査読あり
  • [学会発表] Fabrication of nanometer-scale metal dots using a scanning nano-pipette probe microscope with an electric charge control2009

    • 著者名/発表者名
      So Ito, Takuya Keino, Masahiro Kani, Koki Okada, Futoshi Iwata
    • 学会等名
      3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Kokura
    • 年月日
      20091111-20091113
  • [学会発表] Fabrication of Nano-Meter Scale Dots Using a Scanning Nanopipette Probe Microscope by Controlling Electric Charge2009

    • 著者名/発表者名
      So Ito, Takuya Keino, Futoshi Iwata
    • 学会等名
      The 17th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy
    • 発表場所
      Atagawa
    • 年月日
      2009-12-10
  • [学会発表] 走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた微細金属ドット推積法の開発2009

    • 著者名/発表者名
      伊東聡, 岡田光希, 慶野拓也, 可児昌寛, 岩田太
    • 学会等名
      2009年度精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      神戸大学
    • 年月日
      2009-09-12
  • [産業財産権] ステージ装置2009

    • 発明者名
      岩田太
    • 権利者名
      静岡大学
    • 産業財産権番号
      特願2009-100897
    • 出願年月日
      2009-04-17

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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