| 研究概要 |
本研究ではナノスケール堆積加工に関して微小開口を先端に有するナノピペットをSPMプローブに用いることでプローブ先端から液体滴下を可能にする新奇プローブ顕微鏡微細加工装置を開発し、表面観察のみでなく、プローブ先端開口から様々な機能性液体試薬を局所滴下することで様々な相互作用を用いた微細加工法の開発を行った.
超微小量滴下制御法の確立
本研究を通して「ナノ流体が電界により滴下可能であるが安定性を得るためには電圧ではなく電流をモニタリングしながらチャージ量を制御することが重要である」という知見を得ることができ,この知見を実験で確認することで、高安定な滴下装置を実現した.22年度はこれまでの滴下量制御についてさらに安定化させるための電流モニタリングに関する実験とデータ解析およびそれに基づくシステム改良を行い,安定な液体滴下法を実現した.
3次元構造物の作製技術への検討
本手法により制御の安定化を実現後、ステージとソフトウェアを改良することで本手法での3次元化への検討を行った.加工中にステージを上下させることで3次元化を試み,ナノ微粒子を3次元的に堆積できることを見出した.
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