0.1アトリットルを滴下制御するナノピペットプローブ顕微鏡微細加工装置の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560105
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 静岡大学
• 研究代表者: 岩田 太 静岡大学, 工学部, 教授 (30262794)
• 連携研究者: 中尾 秀信 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (80421395) ; 佐々木 彰 静岡大学, 工学部, 教授 (80022309)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: ナノ・マイクロ加工 / ナノピペット / プローブ / SPM / マニピュレーション / 微細加工 / 堆積微細加工 / 滴下制御

研究概要

本研究ではナノスケール堆積加工に関して微小開口を先端に有するナノピペットをSPMプローブに用いることでプローブ先端から液体滴下を可能にするプローブ顕微鏡微細加工装置を開発した.ナノピペットにCuSO_4などの電解液を充填し,Au薄膜表面に堆積する際,電気化学反応で生じるチャージ量を制御することで,ナノスケール(サブアトリットル)でのCuめっき堆積量を制御しながら高安定に滴下可能な手法を開発した.

研究成果

• [雑誌論文] Probe type micro magnetic manipulator utilizing localized magnetic field with closed loop magnetic path (2011)
  • 著者名/発表者名: S.Ito, K.Ito, F.Iwata
  • 雑誌名: International Journal of Nanomanufacturing 掲載決定
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nanometer-scale Deposition of Metal Plating Using a Nanopipette Probe in Liquid Condition (2011)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡, 岩田太
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 掲載決定
  • 査読あり
• [雑誌論文] Volume Control of Metal-Plating Deposition Using a Nanopipette Probe by Controlling Electric Charge (2010)
  • 著者名/発表者名: S.Ito, T.Keino, F.Iwata
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 49 ページ: 08LB16(5)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Operation of Self-Sensitive Cantilever in Liquid for Multiprobe Manipulation (2010)
  • 著者名/発表者名: F.Iwata, Y.Mizuguchi, K.Ozawa, T.Ushiki
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 49 ページ: 08LB14(5)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Production of ultrafine atmospheric pressure plasma jet with nano-capillary (2010)
  • 著者名/発表者名: R.Kakei a, A.Ogino, F.Iwata, M.Nagatsu
  • 雑誌名: Thin Solid Films 518 ページ: 3457-3460
  • 査読あり
• [雑誌論文] マイクロ磁気プローブで操作された磁性体微粒子による生体試料のマニピュレーション (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡、岩田太、中尾秀信、七里元晴
  • 雑誌名: 精密工学会誌 76 ページ: 64-68
  • 査読あり
• [学会発表] ナノピペットプローブを有する原子間力顕微鏡を用いた液中での金属めっきドット堆積法の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡、山崎晃資、岩田太
  • 学会等名: 2011年度春季第58会応用物理学会学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-26
• [学会発表] Development of Nanometer-scale Deposition Technique Using a Nanopipette Probe in Liquid Condition (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡, 山崎晃資, 岩田太
  • 学会等名: The 18th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy
  • 発表場所: Atagawa
  • 年月日: 20101209-20101211
• [学会発表] Volume Control Technique of Nano Metal Plating Using a Precisely Positioned Nanopipette Probe (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡, 岩田太
  • 学会等名: The 4th International Conference on Positioning Technology
  • 発表場所: Paradise Hotel, Busan, Korea
  • 年月日: 20101124-20101126
• [学会発表] ナノピペットプローブを用いた電気泳動による液中堆積加工法の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡、山崎晃資、岩田太
  • 学会等名: 2010年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2010-09-27
• [学会発表] 電荷量制御によるナノピペットプローブを用いた金属めっきドットの堆積量制御法の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡、岩田太
  • 学会等名: 2010年第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] Counting of Electric Charge for Control of Local Metal Plating Using a Scanning Nanopipette Probe Microscope. (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡, 岩田太
  • 学会等名: 10th International Symposium on Measurement and Quality Control
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2010-09-06
• [学会発表] 電荷量制御による走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた金属めっきドットの堆積量制御法の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡、岩田太
  • 学会等名: 応用物理学会(M&BE分科会)有機バイオSPM研究会・2010
  • 発表場所: 幕張メッセ
  • 年月日: 2010-09-03
• [学会発表] MoP-31 Local Metal Deposition Using a Scanning Nanopipette Microscope by Constant Charge Control (2010)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡, 岩田太
  • 学会等名: The 12th International Scanning Probe Microscopy Conference
  • 発表場所: Sapporo
  • 年月日: 2010-05-10
• [学会発表] ナノピペットプローブを用いた微細立体造形法の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 深田徹、岩田太
  • 学会等名: 2010年度精密工学会春季大会H10(625-626)
  • 発表場所: 埼玉大学
  • 年月日: 2010-03-16
• [学会発表] Fabrication of nanometer-scale metal dots using a scanning nano-pipette probe microscope with an electric charge control. (2009)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡, 慶野拓也, 可児昌寛, 岡田光希, 岩田太
  • 学会等名: 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology(講演番号2A2-3)
  • 発表場所: Kokura
  • 年月日: 20091111-20091113
• [学会発表] 走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた微細金属ドット推積法の開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡、岡田光希、慶野拓也、可児昌寛、岩田太
  • 学会等名: 2009年度精密工学会秋季大会K62(811-812)
  • 発表場所: 神戸大学
  • 年月日: 20090910-20090912
• [学会発表] Fabrication of Nano-Meter Scale Dots Using a Scanning Nanopipette Probe Microscope by Controlling Electric Charge. (2009)
  • 著者名/発表者名: 伊東聡, 慶野拓也, 岩田太
  • 学会等名: The 17th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (46)(講演番号S4-13)
  • 発表場所: Atagawa
  • 年月日: 2009-12-10
• [学会発表] ナノ微粒子のマニピュレーションおよび堆積加工法 (2008)
  • 著者名/発表者名: 岩田太
  • 学会等名: JST静岡大学連携による新技術説明会
  • 年月日: 20080600
• [図書] 実用精密位置決め技術事典(産業技術サービスセンター) (2008)
  • 著者名/発表者名: 岩田太(分担)
  • 総ページ数: 612-617