吸引キャビテーション流を利用する水晶ウエハの超精密三次元マイクロ砥粒加工法の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560109
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 岡山大学
• 研究代表者: 大橋 一仁 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 (10223918)
• 研究分担者: 塚本 眞也 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 教授 (80163773)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 切削・研削加工 / マイクロ砥粒加工

研究概要

加工チャンバ内にウエハを水平に設置し,チャンバ内のスラリーを鉛直上方に吸引することによって,ウエハに対抗させた絞りノズルからキャビテーションを伴うスラリー流をウエハ表面に作用させる反転流型キャビテーション援用砥粒加工法を考案し,その効果と水晶ウエハの加工に適する加工条件を検討した.絞りノズル径およびウエハとのクリアランスによってウエハ形状を数十ナノメートルのレベルで変化させることができ,ウエハ設置ステージに回転機構を加えることで形状精度が更に向上した

研究成果

• [雑誌論文] Fundamental Study on the Precision Abrasive Machining Using a Cavitation in Reversing Suction Flow (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Ohashi, R.J.Wang, H.Hasegawa, S.Tsukamoto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials Vols.389-390 ページ: 223-228
  • 査読あり
• [雑誌論文] Study on Cavitation Aided Abrasive Machining on Glass (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Ohashi, S.Tsukamoto, T.Nakajima
  • 雑誌名: Key Engineering Materials Vols.407-408 ページ: 654-657
  • 査読あり
• [学会発表] キャビテーションを利用した金型のマイクロ砥粒加工法に関する研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 清水章広, 魯楠, 大橋一仁, 塚本真也
  • 学会等名: 日本機械学会中国四国支部第49期講演会
  • 発表場所: 岡山市
  • 年月日: 2011-03-05
• [学会発表] 吸引キャビテーション流を利用したガラスの精密砥粒加工におけるワーク回転とオフセットの効果 (2011)
  • 著者名/発表者名: 村裕之, 魯楠, 大橋一仁, 塚本真也
  • 学会等名: 日本機械学会中国四国支部第49期講演会
  • 発表場所: 岡山市
  • 年月日: 2011-03-05
• [学会発表] 硬脆材料の微細研削・砥粒加工技術 (2010)
  • 著者名/発表者名: 大橋一仁
  • 学会等名: ミクロものづくり大学
  • 発表場所: 岡山市
  • 年月日: 2010-07-28
• [学会発表] 反転吸引キャビテーション流を利用した精密砥粒加工法の基礎的研究(第2報)-加工条件による加工特性の変化 (2009)
  • 著者名/発表者名: 魯楠, 大橋一仁, 塚本真也
  • 発表場所: 下関市
  • 年月日: 2009-11-21
• [学会発表] Study on Cavitation Aided Abrasive Machining on Glass, Key Engineering Materials (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Ohashi, S.Tsukamoto, T.Nakajima
  • 学会等名: ICPMT2009
  • 発表場所: 中国・昆明
  • 年月日: 2009-04-26
• [学会発表] Fundamental Study on the Precision Abrasive Machining Using a Cavitation in Reversing Suction Flow (2008)
  • 著者名/発表者名: K.Ohashi, R.J.Wang, H.Hasegawa, S.Tsukamoto
  • 学会等名: ISAAT2008
  • 発表場所: 淡路市
  • 年月日: 2008-10-01
• [産業財産権] 表面処理方法及びその装置 (2010)
  • 発明者名: 大橋一仁, 塚本眞也, 長谷川裕之
  • 権利者名: 国立大学法人岡山大学
  • 産業財産権番号: 特許・200880105442.5
  • 出願年月日: 2010-05-04
• [産業財産権] 表面処理方法及びその装置 (2010)
  • 発明者名: 大橋一仁, 塚本眞也, 長谷川裕之
  • 権利者名: 国立大学法人岡山大学
  • 産業財産権番号: 特許・10-2010-7005785
  • 出願年月日: 2010-03-16
• [産業財産権] 表面処理方法及びその装置 (2010)
  • 発明者名: 大橋一仁, 塚本眞也, 長谷川裕之
  • 権利者名: 国立大学法人岡山大学
  • 産業財産権番号: 特許・特願,2009-531223
  • 出願年月日: 2010-03-09
• [産業財産権] 表面処理方法及びその装置 (2010)
  • 発明者名: 大橋一仁, 塚本眞也, 長谷川裕之
  • 権利者名: 国立大学法人岡山大学
  • 産業財産権番号: 特許・12/676,255
  • 出願年月日: 2010-03-03