| 研究概要 |
H21年度後半には2軸除振台に絶対変位センサ2台を搭載する装置の工事が完了していた.H22年度は,本格的な実機検証を行なえるレベルまで装置を安定に稼動させることを計画した.具体的に以下のことを実施した.
(1)試作した2台の絶対変位センサの基礎特性計測:複数台の試作を踏まえて,特性ばらつきの原因を明らかにし,どのように特性をそろえる調整を施すべきかを感度解析の手法を用いて解析し,かつ実機を用いて検証した.
(2)モード制御による空気ばね制御の安定化:試作した2台の絶対変位センサの合計出力6個を使って,2自由度除振装置に対するモード制御の効果を検証した.絶対変位センサが除振台に搭載されたとき,除振台の姿勢変動によって同センサの出力は揺動する.これが除振装置の姿勢に悪影響を及ぼすことがあってはならない.実機検証の結果,絶対変位センサに傾斜補正を入れていることに起因して,除振台への悪影響はない,つまりフィードバック用センサとして活用可能なことを実証した.
(3)空気ばねとVCMを協働させた制御系安定化のための調整:上記(2)はアクチュエータとしてボイスコイルモータ(VCM)を用いたときの制振結果である.一方,VCMと並列につながる空気ばねは,除振台の質量を平衡位置に保持する駆動力を生成することが主な役割である。これも絶対変位センサの出力に基づいてフィードバック制御に使用した。すなわち,試作した絶対変位センサの出力を使って,VCMと空気ばねの両者を制御できることを示した.
(4)フィードフォワード制御の適用(ダイレクト床振動フィードフォワードの実現):提案する絶対変位センサが,上記(2),(3)のようなフィードバックのみならずフィードフォワード制御にも活用できることを実機検証した.
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