2010 年度研究成果報告書

帯状薄膜ミラーを用いた多入出力光スイッチの製造方法に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号	20560233
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京工業大学
研究代表者	奥津和俊東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教 (40401567)
研究分担者	佐藤海二東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 准教授 (00215766)
研究期間 (年度)	2008 – 2010
キーワード	光スイッチ / MEMS / 薄膜 / 静電力 / ミラー
研究概要	本研究は、帯状薄膜ミラーを用いた多入出力光スイッチを容易に製造する方法を明らかにすることを目的とする。著者らが提案するこの光スイッチは簡単な構造で磨耗の問題が無いという特長を持つが、これまで適切な製造方法が明らかになっておらず、手作業に拠る所も大きかった。研究の結果、製造・組み立て方法の改良が、より正確な光スイッチングや駆動電圧の低減につながることが分かった。また、駆動信号の改良による配線数の低減についても調べ、多入出力光スイッチの実現に向けて一定の成果を残した。