パルスプラズマアブレーション技術を導入したプラズマプロセス装置の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560267
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電力工学・電力変換･電気機器
• 研究機関: 名古屋工業大学
• 研究代表者: 木村 高志 名古屋工業大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60225042)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: アブレーション / パルスプラズマ / 材料プロセス / ダイヤモンドライクカーボン

研究概要

電熱加速型パルスプラズマ推進機をアブレーション用パルスプラズマとして、固体原料の昇華により発生した気体やそれらのイオンを基板材料へ入射することで材料プロセスを行う方式を提案する。固体原料としてテフロン(PTFE)を用いた場合、基板上に薄膜が形成された。薄膜の分析の結果、薄膜表面上で炭素とほぼ同等のフッ素が含有されていることやアモルファスカーボン膜が形成されていることがわかった。加えて、測定した膜の硬度は最大7GPaに達した。これらの結果より、本方式を用いて、やや軟質ではあるがフッ素含有ダイヤモンドライクカーボン膜が作製可能であることを明らかにした。

研究成果

• [雑誌論文] Deposition of fluorinated diamond-like-carbon films by exposure of electrothermal pulsed plasmas (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Kimura, M.Iida
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics Special Issue 印刷中
  • 査読あり
• [雑誌論文] Comparison of plasma parameters measured in inductively coupled Ar/C_4F_8/O_2 and Ar/CF_4/O_2 plasmas (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Kimura, K.Hanaki
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 48巻 ページ: 096004(6)
  • 査読あり
• [学会発表] Deposition of fluorinated diamond like carbonfilms using pulsed plasma thruster (2010)
  • 著者名/発表者名: 木村高志, 飯田将康
  • 学会等名: 63th Gaseous Electronics Conference/International Conference on Reactive Plasmas
  • 発表場所: Paris
  • 年月日: 2010-10-05
• [学会発表] パルスプラズマスラスタを用いたDLC膜の堆積 (2010)
  • 著者名/発表者名: 飯田将康, 木村高志
  • 学会等名: 27th Symposium on Plasma Processing
  • 発表場所: 横浜
  • 年月日: 2010-02-01
• [学会発表] Application of pulsed plasma thruster to materials processing (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Kimura, M.Iida, A.Oda
  • 学会等名: 62th Gaseous Electronics Conference
  • 発表場所: Saratoga Spring, NY, USA
  • 年月日: 2009-10-22
• [学会発表] アブレーション用パルスプラズマの基本特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 木村高志, 飯田将康
  • 学会等名: 平成20年度電気学会全国大会
  • 発表場所: 北海道大学
  • 年月日: 2009-03-19
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://plasma.web.nitech.ac.jp/