逆プロトン交換を用いたバルク波フリー弾性表面波基板と低損失広帯域フィルタへの応用

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560293
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 山梨大学
• 研究代表者: 垣尾 省司 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (70242617)
• 連携研究者: 中川 恭彦 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (50006277)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 弾性表面波 / LiNbO_3 / 逆プロトン交換 / 低損失フィルタ / バルク波放射

研究概要

情報通信の大容量化・多機能化に伴い,LiNbO_3結晶などの圧電性を利用した弾性表面波フィルタの低損失化・広帯域化が強く要請されている.逆プロトン交換層の形成によりプロトン交換層を埋め込んだLiNbO_3基板構造を,横波型リーキー弾性表面波や縦波型リーキー弾性表面波に適用すると,バルク波放射に起因する損失が減少し,その伝搬特性や共振特性が向上する条件が存在することを理論的、実験的に明らかにした.

研究成果

• [雑誌論文] 逆プロトン交換10^°Y-XLiNbO_3基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 清水秀徳, 中川恭彦
  • 雑誌名: 電気学会論文誌2011年6月号「圧電材料・デバイス」特集号
  • 査読あり
• [雑誌論文] Leaky-surface-acoustic-wave properties on reverse-proton-exchanged LiNbO_3 (2009)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 清水秀徳, 中川恭彦
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. vol.48,no.7 ページ: 07GG10-1-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Leaky-SAW properties on reverse -proton-exchanged LiNbO_3 (2008)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 清水秀徳, 中川恭彦
  • 雑誌名: Proc.of 2008 IEEE International Ultrasonics Symposium P3K-103-04 ページ: 2229-2232
  • 査読あり
• [学会発表] 逆プロトン交換LiNbO_3基板上の縦型漏洩弾性表面波の伝搬特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 阿部真也, 清水秀徳
  • 学会等名: 2011年電子情報通信学会総合大会, AS-2-11(S-37-S-38)
  • 発表場所: [東京,東京都市大学]=〉東日本大震災により学会中止(発表は成立)
  • 年月日: 2011-03-17
• [学会発表] Leaky-surface-acoustic-wave properties on reverse-proton-exchanged LiNbO_3 (2010)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 阿部真也, 清水秀徳
  • 学会等名: Fourth International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
  • 発表場所: Chiba University, Chiba
  • 年月日: 2010-03-05
• [学会発表] Theoretical analysis of leaky SAW properties on reverse-proton-exchanged substrate (2009)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 阿部真也, 清水秀徳
  • 学会等名: The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics, 3P3-11
  • 発表場所: Doshisya University, Kyoto
  • 年月日: 2009-11-20
• [学会発表] 逆プロトン交換基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性解析-圧電定数依存性- (2009)
  • 著者名/発表者名: 清水秀徳, 垣尾省司, 中川恭彦
  • 学会等名: 日本音響学会2009年秋期研究発表会,3-8-4
  • 発表場所: 郡山,日本大学
  • 年月日: 2009-09-17
• [学会発表] 逆プロトン交換基板上の縦波型漏洩弾性表面波の伝搬特性解析 (2009)
  • 著者名/発表者名: 清水秀徳, 垣尾省司, 中川恭彦
  • 学会等名: 日本音響学会2009年春期研究発表会講演論文集,1-2-6(1171-1172)
  • 発表場所: 東京,東京工業大学
  • 年月日: 2009-03-17
• [学会発表] Leaky-SAW properties on reverse -proton-exchanged LiNbO_3 (2008)
  • 著者名/発表者名: 清水秀徳, 垣尾省司, 中川恭彦
  • 学会等名: Proc.of The 29th Symposium on ULTRASONIC ELECTRONICS, 1P5-8(143-144)
  • 発表場所: Sendai City Silver Center, Sendai
  • 年月日: 2008-11-11
• [学会発表] 逆プロトン交換LiNbO_3基板上のリーキー表面波伝搬特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 清水秀徳, 中川恭彦
  • 学会等名: 日本音響学会2008年秋期研究発表会,2-Q-20
  • 発表場所: 福岡,九州大学
  • 年月日: 2008-09-11
• [学会発表] 逆プロトン交換LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波伝搬特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 垣尾省司, 清水秀徳, 中川恭彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会超音波研究会,US2008-11,信学技報(5-10)
  • 発表場所: 東京,機械振興会館
  • 年月日: 2008-05-30
• [備考] ホームページ
  • URL: http://pine.ese.yamanashi.ac.jp/~kakio/