表面光電圧法によるフラットパネルディスプレイ用多結晶Si膜の結晶性評価技術の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560308
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 日本大学
• 研究代表者: 清水 博文 日本大学, 工学部, 教授 (10318371)
• 研究分担者: 池田 正則 日本大学, 工学部, 准教授 (10222902)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 作成 / 評価技術

研究概要

交流表面光電圧(Alternating current surface photovoltage:AC SPV)を用いて,多結晶シリコン(Si)薄膜の結晶性を非接触で評価できる装置を開発した。また,Si単結晶表面を酸化した際の微量の金属不純物[金(Au),鉄(Fe),クロム(Cr)]の挙動についてAC SPV法により明らかにした。更にこれらの金属不純物原子がSi表面における酸化膜成長に及ぼす影響を調べた。

研究成果

• [雑誌論文] 表面光電圧法による多結晶シリコン薄膜の結晶性評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 池田正則,清水博文,高松弘行,迫田尚和
  • 雑誌名: 日本大学工学部紀要 第52巻,第2号 ページ: 35-40
  • 査読あり
• [雑誌論文] Negative Oxide Charge in Thermally Oxidized Cr-Contaminated n-Type Silicon Wafers (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Shimizu, S.Shimada, M.Ikeda
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.49 ページ: 038001
  • 査読あり
• [雑誌論文] Irregular Au profile on the SiO_2 surface and at the SiO_2/Si interface and the oxidation kinetics of thermally oxidized Au-contaminated n-Si (001) surface (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Shimizu, S.Shimada, S.Nagase, S.Muta, M.Ikeda
  • 雑誌名: J.Vac.and Technol. Vol.28 ページ: 94-98
  • 査読あり
• [雑誌論文] Cr故意汚染して熱酸化したn型Siの交流表面光電圧法による金属誘起電荷の解析 (2009)
  • 著者名/発表者名: 嶋田定剛,清水博文,池田正則
  • 雑誌名: 日本大学工学部紀要 第51巻,第1号 ページ: 33-41
  • 査読あり
• [雑誌論文] Au/N-type Si Schottky-barrier contact and oxidation kinetics in Au-contaminated and thermally oxidized N-type Si (001) surfaces (2008)
  • 著者名/発表者名: H.Shimizu, H.Wakashima, S.Shimada, T.Ishikawa, M.Ikeda
  • 雑誌名: Surface and Interface Analysis Vol.40 ページ: 627-630
  • 査読あり
• [学会発表] 非接触表面光電圧プローブを用いた多結晶シリコン薄膜の結晶性評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 池田正則(清水博文)
  • 学会等名: 平成22年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 八戸工業大学
  • 年月日: 2010-08-26
• [学会発表] Photon-assisted surface photovoltage in thermally oxidized metal-contaminated n-type silicon wafers (2010)
  • 著者名/発表者名: 清水博文
  • 学会等名: 7^<th> International Conference on Photo-Excited Processes and Applications
  • 発表場所: Copenhagen and Sonderborg, Denmark
  • 年月日: 2010-08-17
• [学会発表] Au析出したn型Si表面におけるショットキー障壁の形成と熱酸化による崩壊 (2010)
  • 著者名/発表者名: 眞田悠司(清水博文)
  • 学会等名: 平成22年度日本表面科学会東北・北海道支部講演会
  • 発表場所: 東北大学多元研
  • 年月日: 2010-03-10
• [学会発表] 熱酸化したFe汚染n型Si(100)表面における酸化膜負電荷の解析 (2009)
  • 著者名/発表者名: 大槻智大(清水博文)
  • 学会等名: 応用物理学会東北支部第64回学術講演会
  • 発表場所: 日本大学工学部
  • 年月日: 2009-12-04
• [学会発表] 熱酸化したCr汚染n型及びp型Si(100)表面における酸化膜成長と酸化膜電荷の評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 長瀬慎太郎(清水博文)
  • 学会等名: 応用物理学会東北支部第64回学術講演会
  • 発表場所: 日本大学工学部
  • 年月日: 2009-12-04
• [学会発表] 熱酸化したSb汚染p型Si(100)表面における酸化膜成長と酸化膜電荷の評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 牟田壮志郎(清水博文)
  • 学会等名: 応用物理学会東北支部第64回学術講演会
  • 発表場所: 日本大学工学部
  • 年月日: 2009-12-04
• [学会発表] 交流表面光電圧法による熱酸化したFe汚染n型Siにおける酸化膜電荷の評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 大槻智大(清水博文)
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] 熱酸化したCr汚染n型及びp型Si(100)表面におけるCrの挙動 (2009)
  • 著者名/発表者名: 長瀬慎太郎(清水博文)
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] 交流表面光電圧法による熱酸化したP汚染及びSb汚染p型Siにおける酸化膜電荷の評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 牟田壮志郎(清水博文)
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] 非接触SPV測定による多結晶シリコン薄膜の結晶性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 池田正則(清水博文)
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-09
• [学会発表] Formation and Collapse of Au/n-Si Schottky-Barrier Contact at the SiO_2/Si Interface and Oxidation Kinetics in Au-Contaminated and Thermally Oxidized n-Si(001) Surfaces (2008)
  • 著者名/発表者名: 清水博文
  • 学会等名: AVS 55^<th> International Symposium & Exhibition
  • 発表場所: Boston, USA
  • 年月日: 20081000
• [学会発表] 熱酸化したFe故意汚染n型Si(100)表面におけるFe誘起酸化膜負電荷の解析 (2008)
  • 著者名/発表者名: 大槻智大(清水博文)
  • 学会等名: 応用物理学会東北支部第63回学術講演会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2008-12-04
• [学会発表] Si(100)表面における熱酸化膜成長に及ぼすCrの影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 長瀬慎太郎(清水博文)
  • 学会等名: 応用物理学会東北支部第63回学術講演会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2008-12-04
• [学会発表] Si(100)表面における熱酸化膜成長に及ぼすP及びSbの影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 牟田壮志郎(清水博文)
  • 学会等名: 応用物理学会東北支部第63回学術講演会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2008-12-04
• [学会発表] 熱酸化したAu故意汚染n型Si(100)表面におけるAuの挙動(その2) (2008)
  • 著者名/発表者名: 嶋田定剛(清水博文)
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] 表面光電圧法による多結晶シリコン薄膜の結晶性評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 池田正則(清水博文)
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] Auによるn型Si(100)表面における熱酸化膜成長の増速 (2008)
  • 著者名/発表者名: 牟田壮志郎(清水博文)
  • 学会等名: 平成20年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 日本大学工学部
  • 年月日: 2008-08-21
• [学会発表] Au故意汚染して熱酸化したn型Si(100)表面におけるAuの分布 (2008)
  • 著者名/発表者名: 長瀬慎太郎(清水博文)
  • 学会等名: 平成20年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 日本大学工学部
  • 年月日: 2008-08-21
• [学会発表] 交流表面光電圧法によるn型Si(100)表面におけるFe誘起酸化膜負電荷の解析 (2008)
  • 著者名/発表者名: 大槻智大(清水博文)
  • 学会等名: 平成20年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 日本大学工学部
  • 年月日: 2008-08-21