弾性波可視化装置を利用した高機能弾性波動伝搬解析システムの構築

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560317
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 千葉大学
• 研究代表者: 大森 達也 千葉大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60302527)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 弾性波デバイス / 可視化 / 計測 / 圧電応用

研究概要

主に無線通信機に用いられるマイクロ波帯弾性波動デバイスにおける弾性波動の可視化について、実用的なシステムの構築、および、観察した可視化像のデータ処理に関する検討を行った。この結果、圧電基板上を伝搬する弾性波動の振幅のみならず位相についても、他の類似研究で発表されている装置に比して、極めて高速に可視化することに成功した。この成果は高周波弾性波動デバイスの更なる研究・開発にとって有用であると考えられる。

研究成果

• [雑誌論文] A laser probe based on a Sagnac interferometer with fast mechanical scan for RF surface and bulk acoustic wave devices (2011)
  • 著者名/発表者名: K.Hashimoto, K.Kashiwa, N.Wu, T.Omori, M.Yamaguchi, O.Takano, S.Meguro, K.Akahane
  • 雑誌名: IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq.Contr 58 ページ: 187-194
  • 査読あり
• [雑誌論文] Quantitative analysis of power leakage in an film bulk acoustic resonator device at antiresonance frequency (2010)
  • 著者名/発表者名: F.Thalmayr, K.Hashimoto, M.Ueda, T.Omori, M.Yamaguchi
  • 雑誌名: Japan Journal of applied physics 49 ページ: 07HD11-1-4
  • 査読あり
• [雑誌論文] A multiple-scan focusing method for radio-frequency bulk acoustic wave devices observation by laser probe system (2010)
  • 著者名/発表者名: N.Wu, K.Hashimoto, T.Omori, M.Yamaguchi
  • 雑誌名: Japan Journal of applied physics 49 ページ: 07HD10-1-4
  • 査読あり
• [雑誌論文] Integrated software for image processing in radio frequency surface and bulk acoustic wave laser probe system (2009)
  • 著者名/発表者名: N.Wu, K.Hashimoto K.Kashiwa, T.Omori, M.Yamaguchi
  • 雑誌名: Japan Journal of applied physics 48 ページ: 088002-1-2
  • 査読あり
• [雑誌論文] Focus adjustment system of laser robe for radio frequency surface and bulk acoustic wave devices (2009)
  • 著者名/発表者名: N.Wu, K.Hashimoto, K.Kashiwa, T.Omori, M.Yamaguchi
  • 雑誌名: Japan Journal of applied physics 48 ページ: 108002-1-2
  • 査読あり
• [雑誌論文] 弾性波可視化装置を用いたFBARにおけるエネルギー漏洩の解析 (2009)
  • 著者名/発表者名: 呉楠,柏景介,大森達也,橋本研也,山口正恆
  • 雑誌名: 超音波テクノ 22 ページ: 41-45
• [雑誌論文] Time-delay compensation in detection electronics of fast scanning 2DSAW/BAW laser probe (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Omori, K.Kashiwa, K.Hashimoto, M.Yamaguchi
  • 雑誌名: Proc. 2009 IEEE Intl. Ultrasonics symp. ページ: 1644-1647
  • 査読あり
• [雑誌論文] Study on the frequency dependence of lateral energy leakage in RF BAW devices by fast-scanning laser probe system (2008)
  • 著者名/発表者名: N.Wu, K.Hashimoto, K.Kashiwa, T.Omori, M.Yamaguchi
  • 雑誌名: Proc. 2008 IEEE Intl. Ultraonics symp. ページ: 94-97
  • 査読あり
• [学会発表] 広帯域SAW 共振子の導波路解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 巣山、島田、大森、橋本、山口
  • 学会等名: 弾性波素子技術第150委員会第120回研究会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-01-25
• [学会発表] Recent progress in phase-sensitive and fast-scanning laser probe system for RF BAW/SAW laser probe (2010)
  • 著者名/発表者名: N.Wu, K.Hashimoto, K.Kashiwa, T.Omori, M.Yamaguchi
  • 学会等名: 4th Intl. Symp. On acoustics wave devices forfuture mobile communication systems
  • 発表場所: 千葉
  • 年月日: 2010-03-03
• [学会発表] Fast scanning laser probing system with graphic user interface for surface ad bulk acoustic wave devices (2008)
  • 著者名/発表者名: N.Wu, K.Hashimoto, K.Kashiwa, T.Omori, M.Yamaguchi
  • 学会等名: 2008 Joint Japan-USA international meeting on acoustic wave devices
  • 発表場所: Florida, USA
  • 年月日: 2008-12-10