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2010 年度 実績報告書

集積化マイクロ波帯磁性薄膜デバイスの試作と特性評価

研究課題

研究課題/領域番号 20560321
研究機関信州大学

研究代表者

佐藤 敏郎  信州大学, 工学部, 教授 (50283239)

キーワード電子デバイス / 集積回路 / 磁性薄膜 / 高周波IC / 無線回路
研究概要

1.LSIパッケージ集積化磁気デバイスの試作と評価 チップサイズパッケージRF-IC用磁性薄膜インダクタのさらなる高Q化を目指し、磁性薄膜面内うず電流を抑制する4種類の薄膜分割構造を検討し、コイル導体ライン方向スリットによる形状磁気異方性によって強磁性共鳴周波数が高周波化し、併せて高周波銅損を抑制するコイル導体分割構造によってQの最大値を従来の試作例を大幅に超える18にまで高めることに成功した。また、磁性薄膜のインダクタ近傍配線クロストークの抑制効果を調べる目的で、インダクタと同一面にある近傍配線の面内クロストーク、インダクタ下部配線の層間クロストーク検証用TEG(Test Element Group)を試作し、いずれに対しても磁性薄膜の導入によってクロストークが抑制されることが実証された。さらには、LSIパッケージ内蔵DC-DCコンバータの実現を目的として、Fe系アモルファス磁性微粒子/ポリイミド複合材料厚膜磁心を用いたサブmm角100MHz帯用プレーナインダクタを試作し、10nHのインダクタンス、20を越えるQ値、2A以上の直流重畳電流を実現した。これらの成果は、新技術をLSIに導入して高機能化を目指すMore than Mooreの基盤技術になりうるものと期待されるとともに、複数の超小型電源を集積してマイクロスマートグリッドを実現する超低消費電力グリーンLSIの実現にも資するものと考えられる。
2.携帯電話のマルチ無線化に対応したチューナブルインダクタの基礎検討 永久磁石膜/軟磁性薄膜積層構造と永久磁石膜パルス電流着磁コイルを用い、パルス電流着磁した永久磁石膜の直流バイアス磁界によって軟磁性薄膜の磁化困難軸方向透磁率を可変する新規の方法を提案し、FeSiO/SmFeCo積層膜による実験的検証を行った。着磁パルス電流の大きさを変えることで永久磁石膜の残留磁化を調整し、これにより軟磁性薄膜の透磁率を可変できる。パルス電流による着磁エネルギーはわずかであるとともに、着磁後はゼロ電流状態でも自己保持できる利点がある。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (8件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] DC-DCコンバータLSIパッケージ内蔵用Znフェライト厚膜プレーナパワーインダクタの試作2011

    • 著者名/発表者名
      岡崎眞也、竹内有沙子、竹島顕大、曽根原誠、佐藤敏郎、松下伸広
    • 雑誌名

      電気学会論文誌(基礎・材料・共通部門誌)

      巻: 131(2011年7月号掲載決定)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Increase of Q-factor of RF Magnetic Thin Film Inductor by Introducing Slit-patterned Magnetic thin film and Multi-line-conductor Spiral Coil2011

    • 著者名/発表者名
      T.Maruyama, Y.Obinata, M.Sonehara, K.Ikeda, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: Vol.47(2011年11月号に掲載予定)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Planar Power Inductor for Embedded Passives in LSI Package for Hundreds Megahertz Switching DC-DC Buck Converter2011

    • 著者名/発表者名
      H.Ito, A.Takeuchi, S.Okazaki, H.Kobayashi, Y.Sugawa, A.Takeshima, M.Sonehara, N.Matsushita, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: Vol.47(2011年11月号に掲載予定)

    • 査読あり
  • [学会発表] RFチューナブル磁性薄膜デバイスの基礎検討2011

    • 著者名/発表者名
      峯村知剛、結城恵、曽根原誠、佐藤敏郎、池田賢司、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      平成23年電気学会全国大会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2011-03-18
  • [学会発表] 高周波マイクロ磁気応用技術に関する研究2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤敏郎
    • 学会等名
      東北大学電気通信研究所スピニクス研究会
    • 発表場所
      東北大学 招待講演
    • 年月日
      2010-12-28
  • [学会発表] CSP RF-IC用スパイラルインダクタの磁性膜装荷による近傍配線のクロストーク抑制効果の実験的検討2010

    • 著者名/発表者名
      丸山誠礼、曽根原誠、池田賢司、佐藤敏郎、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      崇城大学(熊本市)
    • 年月日
      2010-12-16
  • [学会発表] Fe系アモルファス微粒子分散複合材料を用いた集積化電源用プレーナインダクタの作製と評価2010

    • 著者名/発表者名
      伊藤秀幸、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      秋田大学
    • 年月日
      2010-11-25
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO2グラニュラー積層膜を用いた磁性膜サンドイッチ型薄膜インダクタの作製と特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      丸山誠礼、小林大輔、池田賢司、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      第34回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2010-09-06
  • [学会発表] 磁性微粒子分散複合材料を用いた集積化電源用プレーナインダクタの作製と特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      伊藤秀幸、海堀信博、小川圭介、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      第34回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2010-09-06
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO▼2▼ Magnetic Thin Film Inductor for CSP RF-IC2010

    • 著者名/発表者名
      T.Maruyama, M.Yuki, D.Kobayashi, T.Minemura, M.Sonehara, K.Ikeda, T.Sato
    • 学会等名
      International Conference on Microwave Magnetics 2010, IEEE Magnetics Society
    • 発表場所
      Northeastern University, Boston, MA, USA
    • 年月日
      2010-06-03
  • [学会発表] Development of Zn-Ferrite Thick Film Planar Power Inductor2010

    • 著者名/発表者名
      S.Okazaki, A.Takeuchi, M.Sonehara, T.Sato, N.Matsushita
    • 学会等名
      International Conference on Microwave Magnetics 2010, IEEE Magnetics Society
    • 発表場所
      Northeastern University, Boston, MA, USA
    • 年月日
      2010-06-03
  • [備考]

    • URL

      http://amdl.shinshu-u.ac.jp/

  • [産業財産権] 磁性薄膜、その製造方法及び制御方法、薄膜磁気デバイス2011

    • 発明者名
      池田賢司, 佐藤敏郎, 曽根原誠
    • 権利者名
      太陽誘電株式会社国立大学法人信州大学
    • 産業財産権番号
      特許権、特願2011-056029
    • 出願年月日
      2011-03-15

URL: 

公開日: 2012-07-19  

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