2010 年度研究成果報告書

光化学堆積と光化学ドーピングによる室温動作薄膜水素センサーの作製

研究課題

研究課題/領域番号	20560323
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	電子デバイス・電子機器
研究機関	名古屋工業大学
研究代表者	市村正也名古屋工業大学, 工学研究科, 教授 (30203110)
研究期間 (年度)	2008 – 2010
キーワード	水素センサー / 光化学堆積 / 酸化スズ
研究概要	光化学堆積法を用いて酸化スズ膜を堆積し、水素ガスセンサーを作製した。光化学堆積法では、光照射によって溶液中で酸化スズ生成反応が起き、膜はナノ微粒子の集合体となる。したがって膜は大きな実効表面積を持ち、より低い温度で高い感度が期待できる。さらに感度を高めるため、光化学堆積法を発展させた光化学ドーピング法にて触媒であるPdを添加した。その結果、室温にて10ppm程度の低濃度水素にも高い感度を持つセンサーの作製に成功した。