研究課題
基盤研究(C)
状況の多角的な判断や冗長性による誤動作回避などが期待できるスマート・センサの形態として複数のセンサをCMOS集積回路上に融合したセンサ・オン・CMOSを考えると、従来のリソグラフィとエッチングを基盤とする加工技術だけでは、混載できるセンサの種類の数にコスト的に限界がある。そこで、誘電泳動に基づき溶液中で特定の微粒子を捕獲する微細四重極電極とこれを駆動するAC非接触給電小型駆動回路を用いる「自己整合微粒子操作技術」に関する基礎的検討を実施し、その可能性を示した。
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すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (4件) 備考 (1件)
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http://www.si.eei.eng.osaka-u.ac.jp/