| 研究概要 |
本研究では,ボードレベル光インターコネクションに注目し,その主な構成要素となる電気配線層と光配線層から構成される光電気混載基板(OE-PWB : Opto-Electric Printed Wiring Board)上の光デバイスと光配線間接続に必要な光機能デバイスの創製を目的とし,光硬化性樹脂を材料としたフォトマスク転写法および自己形成法を用いて作製する技術を新規に提案するとともに,実験的・理論的検討を行った。得られた成果を以下に要約する。
1. 自己形成法で作製する光導波路の光軸方向の形状を、用途に合わせてテーパあるいはストレートになるように制御することに成功した。この制御技術を用いて、180度光路変換デバイスを新規提案し試作を行った。
2. 多層に形成された光配線ボード間を、波長アドレス方式によって再構成することが可能な光インターコネクト方式を提案して、シミュレーションおよび実験により、所定の動作を確認した。
3. 高効率光結合およびフレキシブル特性を兼ね備えたポリマー光配線板として、厚み方向にテーパ形状をもつ構造を提案試作して、所望の光特性を有することを示した。
4. マスク転写法を用いて、直径数十μmから数百μmの精密なマイクロホールが2次元アレイ状に配列したポリマー基板を作製することに成功した。このマイクロホールをソケットとして、ファイバ先端あるいは自己形成法によって作製した光プラグを挿入することにより、パッシブアライメントが可能で高結合効率を有するプラグイン光接続法を新規に提案した。MTコネクタ端面に光ソケットおよび光プラグを作製して、所望の接続特性を示した。
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