研究課題
本研究の目的は、次の3ステップの無電解プロセスにより、高密度垂直磁気記録媒体を作製することである。1. 無電解置換析出により金属ナノ粒子をシリコン(Si)表面に高密度かつ均一に形成する。2. 金属微粒子援用HFエッチングによりSi表面に垂直なナノ孔を高密度に形成する。3. 無電解自己触媒めっきにより硬質磁性材料をナノ孔に充填する。一連の工程をすべて無電解ウェットプロセスで行うことが最大の特長である。昨年度の成果をふまえて、本年度は、1) 第2段階で形成されるSiナノ孔を基板に対して垂直にすることを試みるとともに、2) 本プロセスを利用してSi上に密着性の高い金属薄膜を形成する新たな展開を試みた。結果の概要を以下に示す。1) 銀ナノ粒子をつけたp-Siを中心に様々な検討を行ったが、数百ナノメートルの深さにそろった直線的なナノ孔のみを形成する条件を見いだすには至らなかった。その中で、長時間HF水溶液に浸しても、エッチング速度が大きく変化することはなく、孔底に銀ナノ粒子を持っ長さ10マイクロメートルを超えるナノ孔が形成されることを見いだした。2) 本研究のプロセスのうち、第3段階の自己触媒めっきによる金属充填を10分間程度と比較的に長時間行うと、Si表面に均一に金属薄膜が形成された。この膜の密着性は、従来法に比べると著しく高かった。Siナノ孔への金属充填によって形成された金属ナノロッドがアンカーとして働いているために高い密着性が得られることを明らかにした。パワーデバイスなどへ応用できるものと期待している。
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Journal of The Electrochemical Society 157
ページ: D90-D93
ECS Transactions 25(27)
ページ: 215-220
ECS Transactions 25(34)
ページ: 79-85
ECS Transactions 25(33)
ページ: 117-123
Trans.Mater.Res.Soc.Jpn. 35
ページ: 73-76
表面技術 60
ページ: 355-356
Ch.4, Porous Silicon Formation by Metal Particle Enhanced HF Etching, in Electroanalytical Chemistry Research Trends(Nova Science Publishers, Inc.)
ページ: 107-126
http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html
