高反応性大気圧水プラズマによるプラズマプロセス

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 20560678
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 東京都市大学
• 研究代表者: 小野 茂 東京都市大学, 工学部, 教授 (80097170)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• キーワード: 大気圧プラズマ / 水 / 表面処理 / 精密洗浄 / ポリイミド

研究概要

環境負荷の低い水をプラズマガスとして用いて、水に容易に吸収されるマイクロ波(2.45GHz)を用い、マイクロ波共振器の形状を工夫し、ガス流を放電の安定化に用いたプラズマ源を開発し、大気圧プラズマを用いた表面洗浄、表面改質、有機物分解に関する研究を行った。大気圧マイクロ波で生成されたプラズマの密度は高く、その結果高密度の化学的に活性なラジカルが発生し、高速プラズマ処理が行え、大気圧H2O プラズマの有効性が示された。

研究成果

• [雑誌論文] 大気圧マイクロ波プラズマを用いた表面処理におけるラジカルの効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 小野茂、山田雅仁
  • 雑誌名: 電気学会論文誌A基礎・材料・共通部門誌 130巻 ページ: 919-924
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of gas composition on metal surface cleaning using atmospheric pressure microwave plasma (2009)
  • 著者名/発表者名: S.Ono, S.Teii, Y.Suzuki, T.Suganuma
  • 雑誌名: Thin Solid Films vol.518 ページ: 981-986
  • 査読あり
• [雑誌論文] コロナトーチプラズマによるフィルム表面処理とその評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 小野茂
  • 雑誌名: コンバーテック 36巻 ページ: 74-79
  • 査読あり
• [学会発表] Plasma surface modification using atmospheric pressure microwave plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: 小野茂
  • 学会等名: The 16^<th> International Conference on Advanced Oxidation Technologies for Treatment of Water Air and Soil
  • 発表場所: San Diego, California(USA)(招待講演)
  • 年月日: 2010-11-17
• [学会発表] Oxygen radical density in atm ospheric pressure Ar-O2 microwave plas ma for plasma cleaning (2009)
  • 著者名/発表者名: 小野茂
  • 学会等名: ISPC19-2009
  • 発表場所: Univ. of Bochum (Germany)
  • 年月日: 2009-07-27
• [学会発表] Atmospheric pressure microwave excited H_2O plasma and application to the surface cleaning (2008)
  • 著者名/発表者名: 小野茂
  • 学会等名: ESCAMPIG
  • 発表場所: スペイン グラナダ
  • 年月日: 2008-07-17
• [図書] 二酸化炭素の有効利用技術 (2010)
  • 著者名/発表者名: 小野茂、他
  • 総ページ数: 37-45
  • 出版者: サイエンス&テクノロジー社