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コンビナトリアル・スパッタリング法により、多元系蛍光体薄膜を作製する成膜技術を確立した。まず、第1段階として、エレクトロルミネッセンス素子用蛍光体薄膜材料として、申請者らが開発に成功した高輝度黄色発光多元系酸化物薄膜である(Y_2O_3)x^- (GeO_2)^<1-x>、(Y_2O_3)_x^- (Gd_2O_3)^<1-x>及び(Y_2O_3)_x^- (Ga_2O_3)_<1-x>薄膜等のY_2O_3ベース多元系複合酸化物蛍光体薄膜の構成元素の組成及び発光中心材料であるMnの添加量を変化させた薄膜をそれぞれ1回の成膜プロセスで作製する成膜技術を確立し、それらの蛍光体薄膜を発光層に採用するセラミック絶縁層形薄膜EL素子の作製技術を確立して、多色EL発光を実現できた。
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