| 研究概要 |
アクティブな空間光制御による高解像力イメージング手法の確立と次世代半導体のインプロセス計測への応用を目的として,以下の基礎的な研究を本研究課題と関連した研究として行った.
1. 結像光路を動的にサブピクセルシフトさせ顕微観察画像を高解像度化する手法を新たに提案し,シミュレーションおよび実験により有効性を検討した.実験の結果,サブピクセル光軸(画像)変位によって,高解像度化、ノイズ抑制,エイリアシング誤差の低減を実現した.更に,MTF解析の結果,現実的な観察条件において,提案手法により0.1ピクセルの空間周波数が解像可能であることがわかった.
2. 3次元空間変調照明を精密計測に応用することを目的として,マルチビームの3次元干渉に基づいた広領域3次元空間変調照明の生成・制御手法の提案を行った.実験装置構築に先だって,3次元変調照明に関する理論的解析(マルチビーム配置の最適化),3次元FDTD法による3次元変調照明生成・制御シミュレーションを行った.その結果,複数のレーザ光源の空間的配置の最適化,入射角制御,偏光制御によって,3次元方向それぞれに等方的に高い空間周波数を有する局在エネルギ分布が広領域に生成可能であることが分かった.更に,4光束干渉実験装置を構築し,ポリスチレンラテックス標準粒子を計測対象として3次元空間変調照明を3次元的に空間シフトさせた.その結果,理論およびシミュレーションに即した周期的な輝度変調が観察され,広領域3次元空間変調照明の生成を確認した.
これらの結果は,広い観察視野においても高解像力・高速イメージングを実現し,次世代半導体の欠陥形状計測への展開可能性を示唆している点で意義深く重要である.
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