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2010 年度 研究成果報告書

エバネッセント光の動的空間分布制御による次世代半導体表面ナノ欠陥の高速計測法

研究課題

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研究課題/領域番号 20569001
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関静岡大学

研究代表者

臼杵 深  静岡大学, 若手グローバル研究リーダー育成拠点, 特任助教 (60508191)

研究期間 (年度) 2008 – 2010
キーワード複数画像再構成 / 定在エバネッセント照明 / 空間変調照明 / エバネッセント光 / 欠陥計測 / 超解像 / ナノ計測 / 半導体表面計測
研究概要

定在エバネッセント光照明分布の動的制御,複数画像の逐次的再構成による超解像顕微法を基礎的に検証するための装置を開発し,定在エバネッセント光生成,散乱光結像,離散的サンプルによる解像実験を行った.提案手法の基礎原理を実験的に確認することができた.更に,ピクセルサイズと解像力との関係を計算機シミュレーションにより検討したところ,変調照明の微小シフトによりピクセルサイズ以下の解像(サブピクセル標本化)が実現する可能性があることがわかった.本申請研究と関連した研究として,結像光路を動的にサブピクセルシフトさせ顕微観察画像を高解像度化する手法を新たに提案し,シミュレーションおよび実験により有効性を検討した.更に,マルチビームの3次元干渉に基づいた広領域3次元空間変調照明の生成・制御手法を提案し,シミュレーションおよび実験により有効性を検討した.

  • 研究成果

    (9件)

すべて 2011 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (4件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] High-Resolution Tolerance Against Noise Imaging Technique Based on Active Shift of Optical Axis2011

    • 著者名/発表者名
      S.Usuki, K.T.Miura
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology 5巻

      ページ: 206-211

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Experimental verification of super-resolution optical inspection for semiconductor defect by using standing wave illumination shift2010

    • 著者名/発表者名
      S.Usuki, H.Nishioka, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 46巻

      ページ: 863-875

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 定在エバネッセント波照明による超解像イメージング2009

    • 著者名/発表者名
      高橋哲, 臼杵深, 高増潔
    • 雑誌名

      光学 38巻

      ページ: 364-372

    • 査読あり
  • [学会発表] Resolution Improvement of Optical Imaging by Spatial Control of Light and Multi-Image Reconstruction2011

    • 著者名/発表者名
      臼杵深
    • 学会等名
      International Symposium on Ultraprecision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      東洋大学(東京都)(Invited Paper)
    • 年月日
      2011-03-15
  • [学会発表] Multiple image reconstruction for high-resolution optical imaging using structured illumination2010

    • 著者名/発表者名
      臼杵深
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics 2010
    • 発表場所
      San Diego Convention Center(アメリカ)(Invited Paper)
    • 年月日
      2010-08-03
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査2009

    • 著者名/発表者名
      臼杵深
    • 学会等名
      2009年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      中央大学(東京都)
    • 年月日
      2009-03-11
  • [学会発表] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      臼杵深
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県)
    • 年月日
      2008-09-17
  • [備考] ホームページ等

    • URL

      http://www.shizuoka.ac.jp/tenure/

  • [備考]

    • URL

      http://ktmll.eng.shizuoka.ac.jp/profile/usuki/index.html

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公開日: 2012-01-26   更新日: 2016-04-21  

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