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2009 年度 実績報告書

確率共鳴で動作するナノ機械によるセンシング

研究課題

研究課題/領域番号 20676001
研究機関東北大学

研究代表者

小野 崇人  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90282095)

キーワード振動子 / 非線形性 / 確率共鳴 / 同期現象 / ナノ機械 / マイクロ電気機械 / 高感度センサ / 共振
研究概要

ナノ・マイクロ共振子を非線形素子として利用するため、特異な非線形性の発現メカニズムの解明に関する実験および解析を引き続き行い、非線形性に関する理論モデルを導出した。一つの共振子を確率共鳴状態にするには、その周波数、駆動電圧、印加ノイズ強度をチューニングし、振幅の2値状態を形成する必要がある。しかし、多数のセンサ要素を用いる場合、わずかずつ共振周波数を変化させ、どのような条件下でも、幾つかのセンサが確率共鳴を起こすようにすることができる。このため、センサ出力を加算するネットワークを考案し、センサアレイを作製した。機械式の共振センサで検出した信号を、機械的あるいは電気的に結合した共振子により伝達し、信号を増幅させるなどの操作が可能であることを実験的に実証した。また、この際にノイズが振動子間でどのように伝達されるかを実験、考察した。信号を共振子間で伝達するには、お互いに機械的な同期させるのが有効であることを示した。このことは、自然界に広く見られる同期現象は、機械的な共振子でも実現可能であり、高感度センシングに応用できることを世界で初めて示した結果であると言える。さらに、機械振動子を大規模に結合させて信号処理を行うため、圧電の振動素子を集積化する技術を開発し、実際に圧電素子を集積化した振動子を作製した。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] Temperature-dependent mechanical and electrical properties of boron-doped, piezoresistive nanocantilevers2009

    • 著者名/発表者名
      蒋永剛, 小野崇人, 江刺正喜
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 19

      ページ: 065030-1-065030-1

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Modeling and Experimental validation of the performance of a silicon XY-microstage driven by PZT actuators2009

    • 著者名/発表者名
      Mohd Faizul, Mohd Sabri, 小野崇人, 江刺正喜
    • 雑誌名

      Micromechanics and Microengineering 19

      ページ: 095004-1-095004-9

    • 査読あり
  • [雑誌論文] The fablication of metallic tip with silicon cantilever for probe-based ferroelectric data storage and their durability experiments2009

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Takahashi, Yasuhiro Mimura, Shuntaro Mori, Masahiro Ishimori, Atsushi Onoe, 小野崇人, 江刺正喜
    • 雑誌名

      Nanotechnology 20

      ページ: 365201-1-365201-6

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 非線形ナノ・マイクロ振動子を用いたノイズ励起によるセンシング2009

    • 著者名/発表者名
      小野崇人、吉田祐介、蒋永剛、江刺正喜
    • 雑誌名

      Nanotechnology 62

      ページ: 131-137

  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      小野崇人(執筆分担)
    • 雑誌名

      MEMS/NEMS工学全集(桑野博喜監修)、走査型プローブ顕微鏡(執筆分担)(テクノシステム)

      ページ: 74-7450

  • [学会発表] Micromechanically-Coupled Resonated System for Synchroniced Oscillation with Inproved phase noise2010

    • 著者名/発表者名
      Dong F Wang, Jinyang Feng, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Xiongying Ye
    • 学会等名
      IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
    • 発表場所
      Hong Kong
    • 年月日
      2010-01-26
  • [学会発表] Characterization of two beam-shaped cantilevers coupled with a micro mechanical element2009

    • 著者名/発表者名
      Dong F Wang, Jinyang Feng, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      Microprocesses and Nanotechnology 2009
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2009-11-17
  • [学会発表] Microsystems for Nanoscale Processing2009

    • 著者名/発表者名
      T.Ono
    • 学会等名
      Second International Workshop on Nanotechnology and Application(IWNA 2009)
    • 発表場所
      Vun Tau, Vietnam
    • 年月日
      2009-11-13
  • [学会発表] Applications of NEMS devices2009

    • 著者名/発表者名
      T.Ono
    • 学会等名
      The 6th Conference on Solid State Physics and Materials Science(SPMA-2009)
    • 発表場所
      Da Nang, Vietnam
    • 年月日
      2009-11-08
  • [学会発表] Noise-enhanced sensing using micromechanical nonlinear resonator2009

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Yoshida, Takahito Ono
    • 学会等名
      2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-10-08
  • [学会発表] Integration process of carbon nanotube piezoresistive elements into microstructure2009

    • 著者名/発表者名
      Naoki Oda, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      Trends in Nanotechnology
    • 発表場所
      Barceloca, Spain
    • 年月日
      2009-09-10
  • [学会発表] Development of 100-nm-thick self-sensing nanocantilever and characterization of the temperature dependence of the piezoresistivity and conductivity2009

    • 著者名/発表者名
      Yonggang Jiang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      Proceeding of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Denver, USA
    • 年月日
      2009-06-23
  • [学会発表] Micromechanical nonlinear bistable resonators for robust sensing2009

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2009-05-21

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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