• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2009 年度 実績報告書

ナノ印刷技術による伸縮自在な大面積シート集積回路

研究課題

研究課題/領域番号 20676005
研究機関東京大学

研究代表者

染谷 隆夫  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90292755)

キーワード有機半導体 / ナノエレクトロニクス / 大面積エレクトロニクス / 有機デバイス / 印刷技術 / ナノプリンティング / カーボンナノチューブ / フレキシブルエレクトロニクス
研究概要

本研究では、伸縮自在の大面積シート集積回路を実現すため、伸縮性電子材料のデバイス物理・界面物性を解明し、さらに作製技術を確立する。特に、ナノ微細化された有機トランジスタと伸縮性の配線を集積化し、曲げても引っ張っても壊れない伸縮自在で丈夫な大面積シート集積回路を試作する。さらに、有機トランジスタとシリコンLSIを融合し、大面積シート集積回路の設計と製造技術を確立する。染谷らは、有機トランジスタを印刷した高分子フィルムを機械加工でメッシュ構造にすることで、伸縮性のある電子人工皮膚の作製に成功している。このメッシュ構造は、25%以上伸張させると金属の配線が破断して機能しなくなった。本研究では、メッシュ構造の配線に伸縮性のナノチューブを活用し、伸縮率200%の大面積シート集積回路を作製する。さらに、自由曲面に貼れて初めて可能となる大面積シート集積回路のユニークなアプリケーションを示していく。有機トランジスタは、シリコンにはない優れた特徴を兼ね備えながら、これまでアプリケーションが明確ではなく、いまだに産業化に至っていない。筆者らは、既存の競合素子が多いディスプレイ応用ではなく、電子人工皮膚のように既存素子では実現されていないところで有機トランジスタの突破口を切り開き、新しいアプリケーションのデモを行うことによって、社会に分かりやすい形で広く情報を発信していく考えである。
本年度は、ナノチューブをゴムの中に均一分散させる技術をさらに進めることで、ナノチューブ・ゴムのコンポジットを作製し、これを印刷手法を用いて微細にパターニングする技術を確立した。より具体的には、導電率100S/cmで伸縮率30~40%、導電率10S/cmで伸縮率100%を示す新しい伸縮性導体の開発に成功した。特に、新しい分散方法により、ペーストの粘性を10Pas以上まで向上させることにができ、スクリーン印刷を用いて100ミクロンのパターニングを行うことができた。
この伸縮導体配線の有用性を実証するため、有機トランジスタ、有機発光素子(LED)と集積化を行い、世界で初めてアクティブマトリックス駆動の伸縮性有機LEDディスプレイの作製に成功した。これまでのディスプレイとは異なり、球面や人も体などあらゆる曲面、可動面に張ることが可能となり、新しいディスプレイの可能性を切り開くことができた。一連の成果は、2009年5月のNature Materials誌に掲載されて、話題を呼んだ。この伸縮配線の更なる微細化を進めるため、アトリットル・インクジェットを応用する手法を検討し、さまざまなインクを微細にする技術開発を進めている。
有機トランジスタの高性能化に関しては、自己組織化単分子膜をゲート絶縁膜に用いる技術開発をさらに進めており、2V駆動で移動度2cm2/Vsを実現するなど、高機能化、高速動作化において特筆すべき成果を上げることができた。

  • 研究成果

    (28件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (22件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Organic Nonvolatile Memory Transistors for Flexible Sensor Arrays2009

    • 著者名/発表者名
      T.Sekitani, T.Yokota, U.Zschineschang, H.Klauk, S.Bauer, K.Takeuchi, M.Takamiya, T.Sakurai, T.Someya
    • 雑誌名

      Science, Vol.326, 11 Dec. 2009.(10.1126/science. 1179963) 326

      ページ: 1516-1519

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Stretchable active-matrix organic light-emitting diode display using printable elastic conductors2009

    • 著者名/発表者名
      T.Sekitani, H.Nakajima, H.Maeda, T.Fukushima, T.Aida, K.Hata, T.Someya
    • 雑誌名

      Nature materials (2009), Volume : 8 Issue : 6 Pages : 494-9, May. 2009. (10.1038/nmat2459) 8

      ページ: 494-499

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of annealing on electronic and structural characteristics of pentacene thin-film transistors on polyimide gate dielectrics2009

    • 著者名/発表者名
      K.Fukuda, T.Sekitani, T.Someya
    • 雑誌名

      Applied physics letters, Vol.95, No.2, Jul.2009. (10.1063/1.3179166) 95

      ページ: 23302

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of the alkyl chain length in phosphonic acid self-assembled monolayer gate dielectrics on the performance and stability of low-voltage organic thin-film transistors2009

    • 著者名/発表者名
      Kenjiro Fukuda, Takanori Hamamoto, Tomoyuki Yokota, Tsuyoshi Sekitani, Ute Zachieschang, Hagen Klauk, Takao Someya
    • 雑誌名

      APPLIED PHYSICS LETTERS, 95, 203301 (2009), (10.1063/1.325981) 95

      ページ: 203301

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermal stability of organic thin-film transistors with self-assembled monolayer dielectric2009

    • 著者名/発表者名
      Kenjiro Fukuda, Tomoyuki Yokota, Kazunori Kuribara, Tsuyoshi Sekitani, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, Takao Someya
    • 雑誌名

      APPLIED PHYSICS LETTERS, 96, 053302 (2010) 96

      ページ: 53302

    • 査読あり
  • [学会発表] 3-Stage Organic Complementary Ring Oscillators Using Inkjet Technologies with Subfemtoliter Accuracy2010

    • 著者名/発表者名
      野口儀晃, 関谷毅, 横田知之, 染谷隆夫
    • 学会等名
      The 6th International Thin-Film Transistor Conference (ITC10)
    • 発表場所
      Egret Himeji, Hyogo, Japan
    • 年月日
      20100128-20100129
  • [学会発表] Threshold-voltage control of organic nonvolatile memory transistors2010

    • 著者名/発表者名
      中川隆, 横田知之, 関谷毅, 竹内健, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2010 International Thin Film Transistors Conference (ITC'10)
    • 発表場所
      Hyougo University, Tokyo
    • 年月日
      20100128-20100129
  • [学会発表] 自己組織化単分子絶縁膜を用いた低電圧駆動有機トランジスタの電気的・機械的安定性2010

    • 著者名/発表者名
      福田憲二郎, 栗原一徳, 横田知之, 高谷慎也, 関谷毅, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2010年春季第57回 応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学, 神奈川
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] 自己組織化単分子膜を用いた有機不揮発性メモリトランジスタの作製2010

    • 著者名/発表者名
      横田知之, 関谷毅, 中川隆, 竹内健, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 高宮真, 桜井貴康, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学, 神奈川
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] 自己組織化単分子膜をゲート絶縁膜に用いた有機浮遊ゲート型メモリトランジスタの閾値制御2010

    • 著者名/発表者名
      中川隆, 横田知之, 関谷毅, 竹内健, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学会(2010春)
    • 発表場所
      東海大
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] Alkyl chain length dependence on organic transistors with self-assembled monolayers2010

    • 著者名/発表者名
      福田憲二郎, 栗原一徳, 横田知之, 関谷毅, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      the 6th International Thin-film Transistor Conference
    • 発表場所
      Egret Himeji, Himeji, Hyogo, Japan
    • 年月日
      2010-01-28
  • [学会発表] Manufacturing Process of Organic Non-volatile Memory Transistors Using Self-Assembled Monolayer2010

    • 著者名/発表者名
      横田知之, 関谷毅, 中川隆, 竹内健, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 高宮真, 桜井貴康, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2010 The 6th International Thin-Film Transistor Conference (ITC10)
    • 発表場所
      Egret Himeji, Hyogo
    • 年月日
      2010-01-28
  • [学会発表] 3-V Operation of Organic Transistors with Mobility of 1.8cm^2/Vs2010

    • 著者名/発表者名
      内山直哉, 関谷毅, 山本達也, 瀧宮和男, Zschieschang Ute, Klauk Hagen, 染谷隆夫
    • 学会等名
      The 6th International Thin-Film Transistor Conference (ITC10)
    • 発表場所
      Egret Himeji, Hyogo, Japan
    • 年月日
      2010-01-28
  • [学会発表] インクジェット印刷による有機トランジスタ電極の微細化と高速動作2010

    • 著者名/発表者名
      野口儀晃, 横田知之, 関谷毅, 染谷隆夫
    • 学会等名
      電子通信学会 有機エレクトロニクス研究会(OME)
    • 発表場所
      機械振興会館, 東京
    • 年月日
      2010-01-12
  • [学会発表] 自己組織化単分子絶縁膜上のDNTTトランジスタの温度特性と大気安定性2010

    • 著者名/発表者名
      内山直哉, 関谷毅, 山本達也, 瀧宮和男, Zschieschang Ute, Klauk Hagen, 染谷隆夫
    • 学会等名
      電子通信学会 有機エレクトロニクス研究会(OME)
    • 発表場所
      機械振興会館, 東京
    • 年月日
      2010-01-12
  • [学会発表] 自己組織化単分子膜を用いた有機不揮発性メモリの作製と閾値制御2010

    • 著者名/発表者名
      中川隆, 横田知之, 関谷毅, 竹内健, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      電子情報通信学会.有機エレクトロニクス研究会(OME)
    • 発表場所
      機会振興会館, 東京
    • 年月日
      2010-01-12
  • [学会発表] Electrical and Mechanical Stabilities on 2V-Operational Flexible Organic Transistors with a Self-Assembled Monolayer2009

    • 著者名/発表者名
      福田憲二郎, 栗原一徳, 横田知之, 高谷慎也, 関谷毅, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      Material Research Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2009-12-01
  • [学会発表] Organic transistors with parylene gate dielectlic by subfemtoliter inkjet2009

    • 著者名/発表者名
      横田知之, 加藤祐作, 野口儀晃, 関谷毅, 染谷隆夫
    • 学会等名
      International Symposium on Quantum Nanophotonics and Nanoelectronics (ISQNN)
    • 発表場所
      University of Tokyo, Japan
    • 年月日
      2009-11-18
  • [学会発表] Optimization of lengths of alkyl chain for low-operating organic transistors using self-assembled monolayers as gate dielectric layers2009

    • 著者名/発表者名
      福田憲二郎, 栗原一徳, 横田知之, 関谷毅, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      International Symposium on Quantum Nanophotonics and Nanoelectronics
    • 発表場所
      The University of Tokyo, Tokyo
    • 年月日
      2009-11-02
  • [学会発表] DNTTを利用した自己組織化単分子絶縁膜上の有機トランジスタ2009

    • 著者名/発表者名
      内山直哉, 関谷毅, 山本達也, 瀧宮和男, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会,講演番号8a-K-11
    • 発表場所
      富山大
    • 年月日
      2009-09-10
  • [学会発表] サブフェムトリットルインクジェットを用いたパリレンゲート絶縁膜有機トランジスタ2009

    • 著者名/発表者名
      横田知之, 加藤祐作, 野口儀晃, 関谷毅, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会
    • 発表場所
      富山大
    • 年月日
      2009-09-10
  • [学会発表] 自己組織化単分子膜ゲート絶縁膜有機トランジスタ特性のアルキル鎖長依存性2009

    • 著者名/発表者名
      福田憲二郎, 関谷毅, 浜本貴紀, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大
    • 年月日
      2009-09-10
  • [学会発表] 自己組織化単分子膜の有機トランジスタ応用2009

    • 著者名/発表者名
      関谷毅, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, 染谷隆夫
    • 学会等名
      シンポジウム:応用新しいパイ電子系材料と高性能新型トランジスタ2009年秋の応用物理学会シンポジウム,9p-K-10.
    • 発表場所
      富山大
    • 年月日
      2009-09-09
  • [学会発表] 基礎から学ぶプリンテッドデバイス2009

    • 著者名/発表者名
      関谷毅, 染谷隆夫
    • 学会等名
      高分子学会09-1印刷・情報記録・表示研究会
    • 発表場所
      東京工業大学フェライト記念館
    • 年月日
      2009-09-04
  • [学会発表] Rubber-like Stretchable Organic Transistor Integrated Circuits Using Elastic Conductors2009

    • 著者名/発表者名
      関谷毅, 染谷隆夫
    • 学会等名
      MRS Spring Meeting at San Francisco Symposium : Materials and Devices for Flexible and Stretchable Electronics, pp1.3
    • 発表場所
      San Francisco, CA, U.S.A
    • 年月日
      2009-04-13
  • [学会発表] 伸縮性導体を用いた有機トランジスタ集積回路2009

    • 著者名/発表者名
      関谷毅, 中島宏佳, 前田博巳, 福島孝典, 相田卓三, 畠賢治, 染谷隆夫
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      つくば大学
    • 年月日
      2009-04-02
  • [学会発表] Large-area Stretchable Organic Transistor Integrated Circuits for Sensor applications2009

    • 著者名/発表者名
      関谷毅, 染谷隆夫
    • 学会等名
      SPIE
    • 発表場所
      San Diego, U.S.A
    • 年月日
      2009-02-22
  • [図書] 日本磁気学会会報「まぐね」,Vol.4,No.9,pp.435-440,2009年9月.ワイヤレス電力伝送・通信シート2009

    • 著者名/発表者名
      高宮真, 関谷毅, 染谷隆夫, 桜井貴康
    • 総ページ数
      6
    • 出版者
      日本磁気学会会報「まぐね」

URL: 

公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi