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2010 年度 実績報告書

透明酸化物の微細構造における量子物性の開拓

研究課題

研究課題/領域番号 20685013
研究機関東京工業大学

研究代表者

大友 明  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (10344722)

キーワード二次元電子 / 半導体ナノ構造 / 量子効果 / 酸化物半導体 / 電子デバイス
研究概要

透明酸化物半導体は強結合性に由来する多様な物性を有し,次世代エレクトロニクスを支える新材料として期待されている.研究代表者らは,これまで透明酸化物半導体界面に閉じ込めた2次元電子ガスの高移動度化を達成し,酸化物の整数量子ホール効果を初めて実現してきた.本研究では,結晶成長技術を向上させることでさらなる高移動度化を達成するとともに,微細なゲート構造を用いて2次元電子ガスの電界変調を行い,透明酸化物の量子デバイス機能を開拓することを目的とした.量子ホール効果や超伝導を示す酸化物低次元電子系の電界効果電気伝導特性を調べ,従来の半導体や金属に対する共通点や新機軸を明確にする.
今年度は,昨年度に引き続き分子線エピタキシーによる結晶成長技術の向上に取り組んできた.成長機構の解明と条件の最適化,ならびにZnO基板表面処理技術の改良によりMgZnO薄膜の不純物濃度を低減することに成功した.その結果,ZnO/MgZnO界面における移動度が飛躍的に向上し,分数量子ホール効果の観測に成功した(Nature Materials誌掲載).観測された分数量子ホール効果自体は,GaAs/AlGaAs系を代表とする従来の半導体で確立されてきた体系の範囲で理解できるものであるが,電子有効質量が重いZnO系では他の半導体に比べて電子間の相互作用が強められる.今後,この強相関相互作用や量子準位のスピン分極に基づく物性物理学の新しい展開を導く興味深い現象の発現が期待される.
一方で,超伝導や強磁性を示すペロブスカイト型酸化物の人工結晶系でも特異な電子状態の性質を明らかにした.たとえば,電子状態を2次元から3次元まで連続的に変調できるSrTiO_3の人工結晶構造で,僅かな構造の変化が劇的な金属-絶縁体転移をもたらすことを見出し,第一原理計算とアトムプローブによる構造評価によってその機構を明らかにした(Nature Communications誌掲載).

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2011 2010

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] Preparation of an epitaxy-ready surface of a ZnO(0001) substrate2011

    • 著者名/発表者名
      S.Akasaka, K.Nakahara, H.Yuji, A.Tsukazaki, A.Ohtomo, M.Kawasaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 4 ページ: 035701(1-3)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hydrogenation-induced surface polarity recognition and proton memory behavior at protic-ionic-liquid/oxide electric-double-layer interfaces2010

    • 著者名/発表者名
      H.Yuan, H.Shimotani, A.Tsukazaki, A.Ohtomo, M.Kawasaki, Y.Iwasa
    • 雑誌名

      Journal of the American Chemical Society

      巻: 132 ページ: 6672-6678

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mg_xZn_<1-x>O films with a low residual donor concentration (<10^<15>cm^<-3>) grown by molecular beam epitaxy2010

    • 著者名/発表者名
      S.Akasaka, K.Nakahara, A.Tsukazaki, A.Ohtomo, M.Kawasaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 3 ページ: 071101(1-3)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nitrogen doped Mg_xZn_<1-x>O/ZnO single heterostructure ultraviolet light-emitting diodes on ZnO substrates2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nakahara, S.Akasaka, H.Yuji, K.Tamura, T.Fujii, Y.Nishimoto, D.Takamizu, A.Sasaki, T.Tanabe, H.Takasu, H.Amaike, T.Onuma, S.S.Chichibu, A.Tsukazaki, A.Ohtomo, M.Kawasaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 97 ページ: 013501(1-3)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Optimization of the growth conditions for molecular beam epitaxy of Mg_xZn_<1-x>O (0〓x〓0.12) films on Zn-polar ZnO substrates2010

    • 著者名/発表者名
      H.Yuji, K.Nakahara, K.Tamura, S.Akasaka, Y.Nishimoto, D.Takamizu, T.Onuma, S.F.Chichibu, A.Tsukazaki, A.Ohtomo, M.Kawasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49 ページ: 071104(1-5)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of the fractional quantum Hall effect in an oxide2010

    • 著者名/発表者名
      A.Tsukazaki, S.Akasaka, K.Nakahara, Y.Ohno, H.Ohno, D.Maryenko, A.Ohtomo, M.Kawasaki
    • 雑誌名

      Nature Materials

      巻: 9 ページ: 889-893

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dimensionality-driven insulator-metal transition in A-site excess non-stoichiometric perovskites2010

    • 著者名/発表者名
      Z.Wang, M.Okude, M.Saito, S.Tsukimoto, A.Ohtomo, M.Tsukada, M.Kawasaki, Y.Ikuhara
    • 雑誌名

      Nature Communications

      巻: 1 ページ: 106(1-7)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Controlled B-site ordering in Sr_2CrReO_6 double perovskite films by using pulsed laser interval deposition2010

    • 著者名/発表者名
      S.Chakraverty, A.Ohtomo, M.Kawasaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 97 ページ: 243107(1-3)

    • 査読あり
  • [学会発表] ペロブスカイト鉄酸化物エピタキシャル薄膜の秩序構造と磁性2011

    • 著者名/発表者名
      大友明
    • 学会等名
      PF研究会「磁性薄膜・多層膜を究める:キャラクタリゼーションから新奇材料の創製へ」
    • 発表場所
      つくば
    • 年月日
      2011-03-11
  • [学会発表] (Fe_<1-x>Cr_x)_2O_3薄膜の作製と光学特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      増子尚徳, 大島孝仁, 大友明
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      厚木
    • 年月日
      2011-03-09
  • [学会発表] Al_<2x>Ga_<2-2x>O_3コンポジションスプレッド薄膜のPLD成長と光学特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      向井章, 大島孝仁, 大友明
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      厚木
    • 年月日
      2011-03-09
  • [学会発表] La_2CrFeO_6 薄膜におけるCr/Feの自発的再配列とフェリ磁性2011

    • 著者名/発表者名
      大友明
    • 学会等名
      平成22年度東京工業大学応用セラミックス研究所ワークショップ"酸化物特異構造の形成と機能創発"研究会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2011-01-25
  • [学会発表] Controlled B-site ordering in Sr_2CrReO_6 double perovskite films by using pulsed laser interval deposition2010

    • 著者名/発表者名
      S.Chakraverty, A.Ohtomo, M.Kawasaki
    • 学会等名
      KINKEN-WAKATE 2010
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • 年月日
      2010-12-02
  • [学会発表] Observation of next nearest neighbor interaction in the magnetic state of epitaxially grown Sr_2TaFeO_6 double perovskites2010

    • 著者名/発表者名
      S.Chakraverty, A.Ohtomo, M.Saito, S.Tsukimoto, Y.Ikuhaza, M.Kawasaki
    • 学会等名
      17th International Workshop on Oxide Electronics
    • 発表場所
      Awaji, Japan
    • 年月日
      2010-09-21
  • [学会発表] 酸化物界面の二次元伝導2010

    • 著者名/発表者名
      大友明
    • 学会等名
      第4回稲盛フロンティア研究講演会-ナノエレクトロニクス・デバイスの新潮-
    • 発表場所
      福岡(招待)
    • 年月日
      2010-06-11
  • [学会発表] 究極の透明酸化物半導体デバイス創製を目指して~現状と今後の展望~2010

    • 著者名/発表者名
      大友明
    • 学会等名
      情報機構セミナー【透明酸化物半導体】
    • 発表場所
      東京(招待)
    • 年月日
      2010-05-26

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公開日: 2012-07-19  

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