本研究は、溶液成長の成長速度を向上させ、高品質SiC結晶の高速成長を実現することを目的としたプラズマVLSバルク結晶成長法の開発をめざした。最初に、高温環境下で利用可能な大気圧プラズマトーチの設計を行った。次に、プロパン供給方法の最適化により、カーボン原料の溶媒への高効率供給を実現した。また、高品質結晶を実現することも目的の一つとしているが、X線トポグラフィー、エッチピット観察から従来のSiCよりも高品質結晶が実現されることを証明した。ただし技術的な問題により、高温環境下でプラズマ発生を実現することができなかった。
|