| 研究概要 |
本研究では在来の超精密位置決めシステムと比較して更なる高精度化, 高安定性を実現するサブナノメートルオーダの位置決め分解能を有するテーブルシステムを開発することを目的とする. 平成20年度は, 実際のシステムを想定したさまざまな検討と装置設置環境の整備を行った.
1. 案内要素, 駆動要素, 制御システム, 構造配置, 構造材料などに対して, 力学的・熱的に理想的な状態を具体的に定め, 実際のシステムにおける誤差因子を抽出し, 影響度の強い誤差因子を特定したうえで, その影響を極力低減する構造構成, 要素配置などを検討した
2. サブナノメートル位置決めを実現する上で重要となるテーブル変位測定法に関して, サブナノメートル分解能を有するレーザ干渉計をベースに, 出力周期信号に対する信号処理回路の試作を行い, さらなる高分解能化が原理的に可能であることを確認した.
3. 精密石定盤およびパッシブ除振システムを設計および製作し, 力学的に安定な位置決めシステム設置環境を構築する. さらに購入した空気温度調節機を組み込み, 装置設置環境の熱的安定性を確保した.
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